[发明专利]氢化碳薄膜

权利要求书

1.一种用作磁盘驱动器耐磨组成部分的制品，其特征在于包括：

其上没有或有多层薄膜层的衬底；和

处在衬底或薄膜层上而构成表面的薄膜保护层，薄膜保护层包含碳和氢，其中在最接近衬底或薄膜层处的氢原子百分数最低，而向表面逐渐增加，并在表面处氢原子百分数达到最大。

2.权利要求1的制品，其特征在于最低氢原子百分数在从20到30％范围内。

3.权利要求1的制品，其特征在于最高氢原子百分数大于35％。

4.权利要求1的制品，其特征在于最低氢原子百分数小于10％，而最高氢原子百分数大于35％。

5.权利要求1的制品，其特征在于表面层有大于72度的水接触角。

6.权利要求1的制品，其特征在于薄膜保护层有大约50到200埃厚度。

7.一种在磁盘驱动器中用作处在磨损条件下的组成部分的制品，其特征在于包括：

第一含氢化碳(C：H)的薄膜层，它淀积在衬底上或先前已形成的薄膜层上，此含氢化碳(C：H)的薄膜层含X原子百分数的氢，而X小于或等于35％；

第二含C：H的薄膜层，它淀积在所述第一薄膜层上，此第二薄膜层含Y原子百分数的氢，而Y大于X；

含C：H的表面薄膜层，它淀积在所述第二薄膜层上，此表面薄膜层含Z原子百分数的氢，而Z大于Y。

8.权利要求7的制品，其特征在于所述表面层氢含量Z为35％原子百分数或更大。

9.权利要求7的制品，其特征在于所述第二层氢含量Y在20％到35％原子百分数范围内。

10.权利要求7的制品，其特征在于所述表面层氢含量Z为35％原子百分数或更大，所述第二层氢含量Y在20到35％原子百分数而所述第一层氢含量X小于15％原子百分数。

11.权利要求7的制品，其特征在于所述第一、第二和表面薄膜层的总厚度为从20到200埃。

12.权利要求7的制品，其特征在于所述第二层有大于12.5千兆帕(Gpa)的硬度。

13.权利要求7的制品，其特征在于所述表面层有大于72度的水接触角。

14.一种在磁盘驱动器中用作处在磨损条件下的组成部分的制品，其特征在于包括：

第一含氢和碳(C：H)的薄膜层，它淀积在衬底上或先前已形成的薄膜层上，此第一层薄膜层含氢原子百分数的范围从20％到30％；和

含C：H的表面薄膜层，它淀积在所述第一薄膜层上，此表面薄膜层含氢原子百分数大于35％。

15.权利要求14的制品，其特征在于所述第一和表面薄膜层的总厚度为从20到200埃。

16.权利要求14的制品，其特征在于所述第一层的氢含量Y足以使第一层的硬度大于12.5千兆帕(Gpa)。

17.权利要求14的制品，其特征在于所述表面层的氢含量Z足以使水的接触角大于72度。

18.一种磁盘驱动器，其特征在于包括：

可旋转的薄膜盘；

可定位在薄膜盘上的滑动器；

用于转动薄膜盘的装置；和

有形成含碳和氢的耐磨表面的保护外层的滑动器或薄膜盘，此保护外层在耐磨表面处的氢原子百分数最高，向衬底方向氢逐渐减少，在最接近衬底处氢原子百分数最低。

19.权利要求18的制品，其特征在于在耐磨表面处氢含量为35％原子百分数或更大。

20.权利要求18的制品，其特征在于最低氢原子百分数在20到35％范围内。

21.权利要求18的制品，其特征在于最低氢原子百分数在10％而最高氢原子百分数大于35％。

22.权利要求18的制品，其特征在于耐磨表面层有大于72度的水接触角。

23.权利要求18的制品，其特征在于所述保护外层的厚度大约为20到200埃。

24.权利要求18的制品，其特征在于耐磨表面硬度大于12.5Gpa。