[发明专利]石墨X射线窗口在审
申请号: | 202211078839.8 | 申请日: | 2022-09-05 |
公开(公告)号: | CN115810527A | 公开(公告)日: | 2023-03-17 |
发明(设计)人: | G·阿莱迪尼 | 申请(专利权)人: | 莫克斯泰克公司 |
主分类号: | H01J35/18 | 分类号: | H01J35/18 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 江磊;余颖 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨 射线 窗口 | ||
1.一种X射线窗口,包含:
跨越框架孔口的薄膜;
跨越所述孔口的所述薄膜具有≥70质量百分比的碳;
3μm≤T11≤100μm,其中T11是跨越所述孔口的所述薄膜的最大厚度;
所述薄膜包括在石墨层上的聚合物层;并且
T21/T221,其中T21是石墨层的厚度,T22是聚合物层的厚度。
2.根据权利要求1所述的X射线窗口,其中:
2μm≤T21≤25μm;并且
20nm≤T22≤500nm。
3.根据权利要求1所述的X射线窗口,其中,所述聚合物层面向真空,所述石墨层面向大气压力。
4.根据权利要求1所述的X射线窗口,其中,所述聚合物层邻接所述石墨层。
5.根据权利要求1所述的X射线窗口,其中,所述孔口除了所述薄膜之外没有固体材料。
6.根据权利要求1所述的X射线窗口,其中,所述聚合物层包括聚酰亚胺。
7.根据权利要求1所述的X射线窗口,其中,所述薄膜具有≥80质量百分比的碳。
8.根据权利要求1所述的X射线窗口,其中T21/T22≥10。
9.根据权利要求1所述的X射线窗口,其中T21/T22≥50。
10.根据权利要求1所述的X射线窗口,其中T21/T22≤500。
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