[发明专利]一种用于制备金刚石涂层刀具的化学机械研磨预处理工艺有效
| 申请号： | 202111569293.1 | 申请日： | 2021-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN114227391B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 李洪文;邱跃武;张小龙 | 申请（专利权）人： | 江西晶耀科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B3/00 | 分类号： | B24B3/00;B24B37/00;B24B37/34;B24B57/02;C09K3/14 |
| 代理公司： | 南昌金轩知识产权代理有限公司 36129 | 代理人： | 张震东 |
| 地址： | 341000 江西省赣州市*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制备 金刚石 涂层 刀具 化学 机械 研磨 预处理 工艺 | ||
1.一种用于制备金刚石涂层刀具的化学机械研磨预处理工艺，其特征在于，采用含纳米颗粒的弱酸性研磨液对刀具进行化学机械研磨预处理，具体包括以下步骤：
(1)配制弱酸性研磨液，备用；所述弱酸性研磨液为纳米颗粒：甲醇：弱酸按质量比为0.5-1.0:1000:300的比例配制而成；所述纳米颗粒为纳米金刚石粉或纳米钻石粉中的任一种；
(2)将需预处理的刀具部分暴露在弱酸性研磨液中，然后通过液压泵的喷嘴将研磨液以一定的压力喷射刀具表面；
(3)将步骤(2)所处理后的刀具用去离子水清洗，然后烘干待用。
2.根据权利要求1所述的用于制备金刚石涂层刀具的化学机械研磨预处理工艺，其特征在于，所述弱酸为醋酸、琥珀酸或苹果酸中的任一种。
3.根据权利要求1所述的用于制备金刚石涂层刀具的化学机械研磨预处理工艺，其特征在于，步骤(2)中，所述喷射压力为0.4-1.0MPa，所述喷嘴有多个，可同时处理多支刀具。
4.根据权利要求1所述的用于制备金刚石涂层刀具的化学机械研磨预处理工艺，其特征在于，步骤(2)中，所述刀具分批次进行处理，每批次刀具喷射时间为0.01-0.5h。
5.根据权利要求1所述的用于制备金刚石涂层刀具的化学机械研磨预处理工艺，其特征在于，步骤(2)中，所述弱酸性研磨液循环使用。
6.根据权利要求1所述的用于制备金刚石涂层刀具的化学机械研磨预处理工艺，其特征在于，步骤(3)中，所述烘干温度为＜500℃。
7.根据权利要求1所述的用于制备金刚石涂层刀具的化学机械研磨预处理工艺，其特征在于，所述刀具为硬质合金刀具。
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