[发明专利]一种声波传感器

说明书

本发明涉及一种声波传感器，声波传感器包括封闭壳体、悬臂梁、透光材质、激光器以及探测器；悬臂梁、透光材质、激光器以及探测器设置在封闭壳体内；悬臂梁设置在封闭壳体底部，悬臂梁一侧设置有第一贵金属凹槽，透光材质覆盖在第一贵金属凹槽上；激光器发出的光照射透光材质到达第一贵金属凹槽；探测器用于探测激光器发出的光在第一贵金属凹槽的反射光。本发明中第一贵金属凹槽具有极强的光吸收能力，在声波作用下，其微小的形变都会使得光吸收能力发生很大变化，进而导致反射光的光强发生很大变化，通过检测发生变化后的反射光的光强即可非常灵敏度地检测出声波大小。

技术领域

本发明涉及声波检测技术领域，特别是涉及一种声波传感器。

背景技术

声波传感器在当今非常重要。其中电容式传感器为常用的声波传感器，其具有两个彼此有间距的限定电容器的膜片。一个膜片固定，另一个膜片可通过待检测的声波发生位移。可移动膜片的位移决定了电容器的电容变化，该电容变化可由合适的读取电路检测并且可作为电信号输出，通过该电信号可推断出待检测的声波的特性，例如声压等。电容声波传感器灵敏度较高，但是其结构非常复杂。

另一种常用的声波传感器是压电声波传感器，其结构简单，使用由压电材料制成的薄膜，该薄膜可通过待检测的声波发生形变。压电膜的形变在压电膜中感应出电压，该电压可由合适的读取电路检测并且可作为电信号输出，通过该电信号可推断出待检测的声波的特性。虽然压电声波传感器结构简单，但其与电容声波传感器相比，灵敏度较低。

发明内容

本发明的目的是提供一种声波传感器，以简化声波传感器结构，提高检测灵敏度。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

一种声波传感器，所述声波传感器包括封闭壳体、悬臂梁、透光材质、激光器以及探测器；

所述悬臂梁、所述透光材质、所述激光器以及所述探测器设置在所述封闭壳体内；

所述悬臂梁设置在所述封闭壳体底部，所述悬臂梁一侧设置有第一贵金属凹槽，所述透光材质覆盖在所述第一贵金属凹槽上；

所述激光器发出的光照射所述透光材质到达所述第一贵金属凹槽；所述探测器用于探测所述激光器发出的光在所述第一贵金属凹槽的反射光。

可选地，所述悬臂梁受声波作用发生形变，所述第一贵金属凹槽会发生形变。

可选地，所述第一贵金属凹槽之间设置有纤毛，所述纤毛一端插入所述悬臂梁内，所述纤毛另一端设置在所述悬臂梁外；所述纤毛设置在所述悬臂梁外的一端位于所述悬臂梁远离所述透光材质的一侧。

可选地，所述悬臂梁未设置所述第一贵金属凹槽的一侧设置有第二贵金属凹槽。

可选地，所述透光材质为二硫化钼。

可选地，所述第一贵金属凹槽材质为金。

可选地，所述悬臂梁材质为弹性材料。

根据本发明提供的具体实施例，本发明公开了以下技术效果：

本发明公开了一种声波传感器，所述声波传感器包括封闭壳体、悬臂梁、透光材质、激光器以及探测器；所述悬臂梁、所述透光材质、所述激光器以及所述探测器设置在所述封闭壳体内；所述悬臂梁设置在所述封闭壳体底部，所述悬臂梁一侧设置有第一贵金属凹槽，所述透光材质覆盖在所述第一贵金属凹槽上；所述激光器发出的光照射所述透光材质到达所述第一贵金属凹槽；所述探测器用于探测所述激光器发出的光在所述第一贵金属凹槽的反射光。本发明中第一贵金属凹槽具有极强的光吸收能力，在声波作用下，其微小的形变都会使得光吸收能力发生很大变化，进而导致反射光的光强发生很大变化，通过检测发生变化后的反射光的光强即可非常灵敏度地检测出声波大小。

附图说明