[发明专利]一种适用于电镀电池片工艺的正面开槽方法有效
申请号: | 202110341379.2 | 申请日: | 2021-03-30 |
公开(公告)号: | CN113517358B | 公开(公告)日: | 2023-03-31 |
发明(设计)人: | 马敏杰;从海泉;马擎天;王鹏 | 申请(专利权)人: | 环晟光伏(江苏)有限公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 彭星 |
地址: | 214200 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 适用于 电镀 电池 工艺 正面 开槽 方法 | ||
本发明公开了一种适用于电镀电池片工艺的正面开槽方法,其特征在于它包括以下步骤:S1、硅片表面不需要开槽的位置以涂覆油墨;S2、将涂覆油墨后的硅片放入HF酸液中进行开槽;S3、电镀;S4、NaOH碱液洗去硅片表面的油墨。使用本申请公开的方法进行开槽,PN结得到有效的保护,电池片整体的效率得到提升。
技术领域
本发明涉及晶硅太阳能电池片制造技术领域,具体是一种适用于电镀电池片工艺的正面开槽方法。
背景技术
目前的技术水平而言,传统的丝网印刷技术细栅线的高宽比难以有效提高,相对此技术,采用种子层加光诱导电镀(LIP)的方法制备电池正面电极具备的优点为:增大细栅高宽比;减少细栅线电阻率;降低细栅宽度,提高电池受光面积;降低正面电极制作使用银浆量,达到降低电池生产成本的目的。
目前传统的电镀正面开槽方式为使用紫外皮秒激光器对氮化硅直接进行开槽,从而保证金属电极可以直接生长在硅片上。但是存在缺陷:激光器扫描的能量是均匀的,而硅片表面的是存在金字塔形状的绒面,所以在开槽过程中,如果要将金字塔底部的氮化硅膜开掉,必然会伤到金字塔顶部的绒面,破坏硅片上的PN结,导致电池片开压的损失,影响整体效率。
发明内容
本发明主要是提供一种适用于电镀电池片工艺的正面开槽方法,防止开槽对PN结的破坏,提升电池片效率。
技术方案:
一种适用于电镀电池片工艺的正面开槽方法,它包括以下步骤:
S1、硅片表面不需要开槽的位置以涂覆油墨;
S2、将涂覆油墨后的硅片放入HF酸液中进行开槽;
S3、电镀;
S4、NaOH碱液洗去硅片表面的油墨。
作为第一种实施方式,S1包括以下步骤:
S1-A-1、硅片表面涂覆油墨;
S1-A-2、使用皮秒激光器在硅片表面打出电池片正面的图形,将硅片表面的油墨破坏。
优选的,所述皮秒激光器为紫外皮秒激光器,功率为0.5-1W。
作为第二种实施方式,S1包括以下步骤:
S1-B、油墨喷涂,所述油墨按照非电池片正面图形的区域进行打印喷涂。
优选的,所述HF酸液的质量分数为5%-10%。
优选的,所述油墨的厚度为5-10um。
优选的,所述NaOH碱液的质量分数为1%-3%。
本发明的有益效果
1.使用油墨耐酸不耐碱的特性作为掩膜,保护氮化硅。
2.使用HF的选择腐蚀性,仅会洗掉开槽处的氮化硅而不会腐蚀硅片,保护PN结。
3.PN结得到有效的保护,电池片整体的效率得到提升。
附图说明
图1为第一种实施方案中硅片表面涂覆油墨示意图
图2为第一种实施方式中皮秒激光器打出电池片正面的图形示意图
具体实施方式
下面结合实施例对本发明作进一步说明,但本发明的保护范围不限于此:
实施例1:一种适用于电镀电池片工艺的正面开槽方法,它包括以下步骤:
S1、硅片表面不需要开槽的位置以涂覆油墨;
本实施例中:
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