[发明专利]光学玻璃、光学元件和光学仪器

说明书

本发明提供一种光学玻璃，所述光学玻璃的组分以重量百分比表示，含有：SiO₂：55～70％；B₂O₃：2～18％；ZnO：1～20％；La₂O₃+Y₂O₃+Gd₂O₃：4～30％；Ta₂O₅+Nb₂O₅+TiO₂+ZrO₂：0.5～20％；Li₂O+Na₂O+K₂O：3～15％，其中(La₂O₃+Y₂O₃+Gd₂O₃)/(Ta₂O₅+Nb₂O₅+TiO₂+ZrO₂)为1.0～13.0。通过合理的组分设计，本发明获得的光学玻璃在具有期望的折射率和阿贝数的同时，紫外光透过率高，耐紫外辐照性能优异。

技术领域

本发明涉及一种光学玻璃，尤其是涉及一种折射率为1.51～1.58，阿贝数为55～65的光学玻璃，以及由其制成的光学元件和光学仪器。

背景技术

近年来，320～400nm波段的紫外光在防伪验钞、食品包装、金属探测、血液分析、紫外封装、紫外光刻和紫外曝光系统等领域广泛应用。随着半导体制造领域的快速发展，紫外封装、紫外光刻以及紫外曝光系统对精度的要求越来越高。以紫外光刻机物镜系统为例，需要数枚甚至十数枚不同折射率与阿贝数的大口径镜片进行组合，以实现高精度的效果。在320～400nm波段的紫外光学系统中，高透过率与高的耐辐照特性是必须的。以光刻或曝光等高精度光学系统为例，为了获得更高的产率，需要使用千瓦级或更高功率的紫外光源，在如此高的功率下，要求玻璃材料具备较好的抗紫外辐照性能，若玻璃在紫外波段辐照下透过率降低，玻璃会发热严重，造成镜片组折射率偏离以及曲面变形，成像质量降低。

折射率在1.51～1.58，阿贝数在55～65范围内的光学玻璃根据中国光学玻璃分类标准属于钡冕玻璃，现有技术中的钡冕玻璃在紫外波段透过率远低于光刻机使用要求，尤其是最常用的365nm波段，玻璃经辐照后透过率下降严重，难以应用于紫外辐照装置中。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种紫外光透过率高，耐紫外辐照性能优异的光学玻璃。

本发明解决技术问题采用的技术方案是：

光学玻璃，其组分以重量百分比表示，含有：SiO₂：55～70％；B₂O₃：2～18％；ZnO：1～20％；La₂O₃+Y₂O₃+Gd₂O₃：4～30％；Ta₂O₅+Nb₂O₅+TiO₂+ZrO₂：0.5～20％；Li₂O+Na₂O+K₂O：3～15％，其中(La₂O₃+Y₂O₃+Gd₂O₃)/(Ta₂O₅+Nb₂O₅+TiO₂+ZrO₂)为1.0～13.0。