[发明专利]一种平行平板多表面检测方法及夹具

权利要求书

1.一种基于目标信息最优迭代的平行平板多表面检测方法，其特征在于，用于求解包括二次反射信号的多表面透明被测件面形，实现多表面透明被测件的精确测量，包括如下步骤：通过选用与被测件相同材料和厚度的目标件作为迭代参考，通过最小二乘方程的求解得到各表面目标信号的初始相位值，进而求解表面形貌的分布；使用Fizeau式波长移相干涉仪采集18幅干涉图，以目标件上已知信息分布量化求解误差和引导优化方向，使用BFGS拟牛顿法和最速下降法求解最小二乘方程得到各表面目标信号的形貌分布；

采用夹具对所述基于目标信息最优迭代的平行平板多表面检测方法采用的目标件和被测件进行夹持；所述夹具具有上下两部分：夹具上部分包括一个上夹具架体(1)、两个螺纹孔(2)、两副螺杆与配套螺母(10)、三个压紧杆单元(3)与三个上压紧匹配杆(9)，压紧匹配杆(9)外侧有螺纹，为圆柱形式，中间开孔作为压紧孔(6)，内置压紧弹簧(7)；

夹具下部分夹持被测件，具体结构包括：下夹具架体(11)、两个螺纹孔(12)、两个下压紧匹配杆(13)、两个转动压紧单元(14)、一个伸出杆(27)、两个扭簧(25)、两个螺母(16)、一个下压紧头(24)、一个橡胶套(26)、两个压紧螺杆(21)、两个下支撑单元(15)；下夹具架体的下部分开凹槽，与导轨连接。

2.根据权利要求1所述基于目标信息最优迭代的平行平板多表面检测方法，其特征在于：使用基于最速下降法的最小值无约束算法进行迭代。

3.根据权利要求1所述基于目标信息最优迭代的平行平板多表面检测方法，其特征在于：所选用的迭代数字信号目标为目标件上的水平几何中心线，以每次求解的求解值与已知的曲线之差作为迭代量化为误差，以减小该误差为优化方向。

4.一种夹具，对权利要求1所述基于目标信息最优迭代的平行平板多表面检测方法采用的目标件和被测件进行夹持，其特征在于，所述夹具具有上下两部分：夹具上部分包括一个上夹具架体(1)、两个螺纹孔(2)、两副螺杆与配套螺母(10)、三个压紧杆单元(3)与三个上压紧匹配杆(9)，压紧匹配杆(9)外侧有螺纹，为圆柱形式，中间开孔作为压紧孔(6)，内置压紧弹簧(7)；

夹具下部分夹持被测件，具体结构包括：下夹具架体(11)、两个螺纹孔(12)、两个下压紧匹配杆(13)、两个转动压紧单元(14)、一个伸出杆(27)、两个扭簧(25)、两个螺母(16)、一个下压紧头(24)、一个橡胶套(26)、两个压紧螺杆(21)、两个下支撑单元(15)；下夹具架体的下部分开凹槽，与导轨连接。

5.根据权利要求4所述夹具，其特征在于：所述压紧杆单元(3)包括压紧头(4)、压紧管(8)和压紧弹簧(7)，压紧管(8)内部有螺纹可与上夹具架体(1)上的压紧匹配杆(9) 进行螺纹连接，压紧管(8)上方开孔，孔中放置压紧头(4)的底部圆柱杆，放置进孔中后粘贴底部厚片；所述压紧弹簧(7)在内部放置时应当呈伸出状态；压紧头(4)为横向放置的圆柱形式，上面粘贴橡胶片(5)，底端为纵向圆柱杆，该纵向圆柱杆底部为一突出的圆形厚片，该厚片粘贴在圆柱杆底部，中间有与压紧孔6相同的孔，内置压紧弹簧(7)。

6.根据权利要求4所述夹具，其特征在于，所述转动压紧单元(14)包括：一个下压紧匹配杆(13)，杆体由两部分组成，一部分与下夹具架体(11)固连，可选择焊接的方式；另一部分通过伸出杆螺纹孔(28)、伸出杆螺杆(29)使得两个杆体连接；下压紧匹配杆(13)中间有孔(19)，孔内开上扭簧压槽(18)，并且表面为了固定扭簧粘贴塑料贴片。

7.根据权利要求4所述夹具，其特征在于：扭簧(25)中部套在伸出杆(27)上，伸出杆(27)两侧套入压紧匹配杆(13)的孔(19)中，并且两端有螺纹(17)，通过螺母(16)进行压紧；伸出杆(27)上开两个下扭簧压槽(22)和两个压紧盖螺纹孔(23)，压紧盖(20)通过压紧盖螺纹孔(23)和压紧螺杆(21)与伸出杆(27)进行连接；伸出杆(27)头部为形式为圆柱体的下压紧头(24)，并且下压紧头上套橡胶套(26)，起到增加压紧能力的作用；所述扭簧(25)安装时应当使得转动压紧单元(14)呈向下压紧的状态。

8.根据权利要求4所述夹具，其特征在于：下支撑单元(15)为一头部为圆柱形，头部可粘贴橡胶以增加摩擦，下支撑单元(15)的中部杆体为长方形杆体，底部通过焊接的方式与下夹具架体(11)固连。