[发明专利]一种大型精密环形导轨运行精度检测装置及其检测方法在审
申请号: | 202010367095.6 | 申请日: | 2020-04-30 |
公开(公告)号: | CN111442724A | 公开(公告)日: | 2020-07-24 |
发明(设计)人: | 朱辉;李华;徐亮;蒋鑫;常何民 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00;G01M13/00 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 史晓丽 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 大型 精密 环形 导轨 运行 精度 检测 装置 及其 方法 | ||
1.一种大型精密环形导轨运行精度检测装置,其特征在于:包括主控机、可绕环形导轨(5)移动的移动单元(1)、设置于移动单元(1)上的探测单元(2)、设置在环形导轨(5)中心点附近区域的基准单元(3);
所述探测单元(2)包括光源(21)、内调焦光学机构(22)以及CCD相机(23);
所述光源(21)还包括设置于其出射端的分划板;
所述光源(21)发出的探测光(4)经所述内调焦光学机构(22)进行调节后发射至基准单元(3);
所述基准单元(3)包括四维电控平台(31)、设置于四维电控平台(31)上的钢体靶球(32)及靶标组件(33);
所述靶标组件(33)将调节后的探测光(4)分为透射光和反射光;
所述四维电控平台(31)用于调节钢体靶球(32)的姿态,使得透射光与反射光重合形成重合光线;
所述内调焦光学机构(22)接收重合光线并将其通过CCD相机(23)传输至主控机;
所述主控机通过重合光线拟合环形导轨(5)的最佳圆心,从而判断并反馈环形导轨(5)合格与否。
2.根据权利要求1所述的一种大型精密环形导轨运行精度检测装置,其特征在于:所述靶标组件(33)包括沿光路依次设置的半透半反镜(331)、斜置反射镜(333)以及平面反射镜(332);
所述半透半反镜(331)将调节后的探测光(4)分为透射光和反射光;
所述半透半反镜(331)与斜置反射镜(333)平行,且二者与平面反射镜(332)之间的夹角为45度;
所述半透半反镜(331)至钢体靶球(32)中心的光程与半透半反镜(331)至平面反射镜(332)的光程相等。
3.根据权利要求1或2所述的一种大型精密环形导轨运行精度检测装置,其特征在于:所述移动单元(1)包括安装板(11),安装板(11)的下方设有用于沿环形导轨(5)外侧面滚动的两个第一滚轮(12)和用于沿环形导轨(5)内侧面滚动的第二滚轮(13);
所述探测单元(2)安装于安装板(11)的上方。
4.根据权利要求3所述的一种大型精密环形导轨运行精度检测装置,其特征在于:所述安装板(11)下方还设有弹簧安装腔体(11.1),其内设有弹簧(11.2),其两端分别设有连接杆(16)和螺杆(14);所述连接杆(16)一端与弹簧(11.2)一端接触,连接杆(16)另一端伸出弹簧安装腔体(11.1)通过销轴连接第二滚轮(13);所述螺杆(14)一端与弹簧(11.2)的另一端接触,螺杆(14)另一端伸出弹簧安装腔体(11.1)外,并与弹簧安装腔体(11.1)螺纹连接。
5.根据权利要求4所述的一种大型精密环形导轨运行精度检测装置,其特征在于:所述螺杆(14)伸出弹簧安装腔体(11.1)外的一端设有手轮(15);
所述第一滚轮(12)和第二滚轮(13)均为轴承。
6.根据权利要求1所述的一种大型精密环形导轨运行精度检测装置,其特征在于:所述四维电控平台(31)包括二维平移台(311)和设置于二维平移台(311)上的方位俯仰二维转台(312);
所述钢体靶球(32)及靶标组件(33)设置于方位俯仰二维转台(312)上。
7.根据权利要求1所述的一种大型精密环形导轨运行精度检测装置,其特征在于:所述探测单元(2)还包括分束镜(24);
所述光源(21)发射的探测光(4)通过分束镜(24)发射于内调焦光学机构(22)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院西安光学精密机械研究所,未经中国科学院西安光学精密机械研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010367095.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种LED照明小夜灯
- 下一篇:一种基于光条形码生成与识别技术的新型门禁系统