[发明专利]一种大型精密环形导轨运行精度检测装置及其检测方法在审

专利信息
申请号: 202010367095.6 申请日: 2020-04-30
公开(公告)号: CN111442724A 公开(公告)日: 2020-07-24
发明(设计)人: 朱辉;李华;徐亮;蒋鑫;常何民 申请(专利权)人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
主分类号: G01B11/00 分类号: G01B11/00;G01M13/00
代理公司: 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人: 史晓丽
地址: 710119 陕西省西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 大型 精密 环形 导轨 运行 精度 检测 装置 及其 方法
【权利要求书】:

1.一种大型精密环形导轨运行精度检测装置,其特征在于:包括主控机、可绕环形导轨(5)移动的移动单元(1)、设置于移动单元(1)上的探测单元(2)、设置在环形导轨(5)中心点附近区域的基准单元(3);

所述探测单元(2)包括光源(21)、内调焦光学机构(22)以及CCD相机(23);

所述光源(21)还包括设置于其出射端的分划板;

所述光源(21)发出的探测光(4)经所述内调焦光学机构(22)进行调节后发射至基准单元(3);

所述基准单元(3)包括四维电控平台(31)、设置于四维电控平台(31)上的钢体靶球(32)及靶标组件(33);

所述靶标组件(33)将调节后的探测光(4)分为透射光和反射光;

所述四维电控平台(31)用于调节钢体靶球(32)的姿态,使得透射光与反射光重合形成重合光线;

所述内调焦光学机构(22)接收重合光线并将其通过CCD相机(23)传输至主控机;

所述主控机通过重合光线拟合环形导轨(5)的最佳圆心,从而判断并反馈环形导轨(5)合格与否。

2.根据权利要求1所述的一种大型精密环形导轨运行精度检测装置,其特征在于:所述靶标组件(33)包括沿光路依次设置的半透半反镜(331)、斜置反射镜(333)以及平面反射镜(332);

所述半透半反镜(331)将调节后的探测光(4)分为透射光和反射光;

所述半透半反镜(331)与斜置反射镜(333)平行,且二者与平面反射镜(332)之间的夹角为45度;

所述半透半反镜(331)至钢体靶球(32)中心的光程与半透半反镜(331)至平面反射镜(332)的光程相等。

3.根据权利要求1或2所述的一种大型精密环形导轨运行精度检测装置,其特征在于:所述移动单元(1)包括安装板(11),安装板(11)的下方设有用于沿环形导轨(5)外侧面滚动的两个第一滚轮(12)和用于沿环形导轨(5)内侧面滚动的第二滚轮(13);

所述探测单元(2)安装于安装板(11)的上方。

4.根据权利要求3所述的一种大型精密环形导轨运行精度检测装置,其特征在于:所述安装板(11)下方还设有弹簧安装腔体(11.1),其内设有弹簧(11.2),其两端分别设有连接杆(16)和螺杆(14);所述连接杆(16)一端与弹簧(11.2)一端接触,连接杆(16)另一端伸出弹簧安装腔体(11.1)通过销轴连接第二滚轮(13);所述螺杆(14)一端与弹簧(11.2)的另一端接触,螺杆(14)另一端伸出弹簧安装腔体(11.1)外,并与弹簧安装腔体(11.1)螺纹连接。

5.根据权利要求4所述的一种大型精密环形导轨运行精度检测装置,其特征在于:所述螺杆(14)伸出弹簧安装腔体(11.1)外的一端设有手轮(15);

所述第一滚轮(12)和第二滚轮(13)均为轴承。

6.根据权利要求1所述的一种大型精密环形导轨运行精度检测装置,其特征在于:所述四维电控平台(31)包括二维平移台(311)和设置于二维平移台(311)上的方位俯仰二维转台(312);

所述钢体靶球(32)及靶标组件(33)设置于方位俯仰二维转台(312)上。

7.根据权利要求1所述的一种大型精密环形导轨运行精度检测装置,其特征在于:所述探测单元(2)还包括分束镜(24);

所述光源(21)发射的探测光(4)通过分束镜(24)发射于内调焦光学机构(22)。

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