[发明专利]远程喷氦法检漏可控喷枪的进气系统

说明书

本发明公开一种远程喷氦法检漏可控喷枪的进气系统及其使用方法，进气系统包括进气总管、直径不同的多个支管和出气管，多个支管并联设置于进气总管和出气管之间，进气总管上设第一压力传感器，各支管上靠近出气管之处设第二压力传感器；进气总管外接氦源装置，出气管外接喷枪头。其使用方法是通过设置多个不同直径的支管，引入不同定量的氦气，使其喷出的氦气团能准确落入预设的范围内，同时利用第一压力传感器和第二压力传感器检测进气处和出气处的压力值，确保每次喷出的氦气量和持续时间恒定。本发明实现了氦气在输送过程中的流量和持续时间恒定一致，提高喷氦法检漏的定量比较分析，有效比较判断不同被检处的漏孔大小和漏率，减小偶然误差。

技术领域

本发明涉及真空系统检漏技术领域，特别涉及一种远程喷氦法检漏可控喷枪的进气系统。

背景技术

加速器真空系统中遇到的压强都很低，要直接测量它们的压力效应是极不容易的。检漏是加速器真空获得的一个重要步骤，在加速器真空系统中如果抽不到预定的极限真空，除了由于材料放气及泵工作不正常外，最主要的原因是漏气的存在。加速器真空系统常用的检漏法有氦质谱仪检漏法、四极质谱仪检漏法以及真空计检漏法。其中氦质谱仪检漏法为定量测量，利用磁偏转原理把不同质量数的气体分离，用氦气作为示漏气体，通过离子收集及观察氦离子流的大小来判断系统是否有漏。氦质谱检漏法分为常规喷氦法和正压吸枪法，其中喷氦法由于操作简单可靠被广泛使用。

喷氦法检漏过程中，对氦气在每个检漏位置的响应时间需要估算，若真空管道较长，氦信号出现的时间也比较慢，因为要花费必要的时间等待最大的漏信号出现，因此检漏工作者喷氦操作中经常为似是而非的漏孔所困扰，大大影响了检漏的效率和准确度。

而在目前的在实际检漏操作中，所使用的氦源或者氦枪，常常在远大于喷氦区域的空间形成了一个浓度及其梯度都不确定的氦浓度分布，难以实现漏点的准确定位和定量。在不同位置不同时间的氦气，无法实现分布一致、浓度一致，导致无法进行多处漏点的比较和判断。同时，氦源的浓度随时间延长会造成不一致，氦质谱检漏仪的反应也会出现较大的变化和变动，难以给出有效的漏孔大小的判断。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种检漏准确率高、检漏效果更加理想且使用灵活度也高的远程喷氦法检漏可控喷枪的进气系统。

本发明的另一目的在于提供一种上述远程喷氦法检漏可控喷枪的进气系统的使用方法。

本发明的技术方案为：一种远程喷氦法检漏可控喷枪的进气系统，包括进气总管、直径不同的多个支管和出气管，多个支管并联设置于进气总管和出气管之间，进气总管上设有第一压力传感器，各支管上靠近出气管之处分别设有第二压力传感器；进气总管外接氦源装置，出气管外接喷枪头。其中，通过设置不同直径的支管来调节氦气的输入量，从而控制喷枪喷出的氦气团大小，确保在小区域内的被检设备表面的漏孔附件引入氦气，提高检漏的准确度。利用第一压力传感器和第二压力传感器实时测量和监控进气处和出气处的氦气压力，便于氦气恒定压力和恒定浓度的调节和控制，确保氦气浓度随时间恒定，可提高氦质谱仪反应和读数的稳定性，精确控制的一定的喷氦时间和浓度流量，可用于大型设备多处漏点的比较判断。

所述进气总管的长度为进气总管管径的3倍以上，各支管的长度为相应支管管径的3倍以上，出气管的长度为出气管管径的3倍以上，可有效保证第一压力传感器和第二压力传感器测量数值的准确度。

所述出气管为无氧铜管，出气管的直径根据该管道上所选电磁阀的通径相应设定即可。出气管采用无氧铜管，其目的是方便检漏时可根据被检测设备的需求进行现场折弯等操作，以使其与检测空间相适应，提高使用的灵活度。

所述进气总管为PVC管，进气总管的直径根据该管道上所选电磁阀的通径相应设定即可。

所述支管有两个，分别为PVC管；其中一个支管的直径为另一支管直径的1.5～3倍，各支管直径的具体值也根据相应管道上所选电磁阀的通径相应设定即可。