[发明专利]一种用来混配高精度、低不确定度二元标准气体的装置及其方法

说明书

一种用来混配高精度、低不确定度二元标准气体的装置，该装置包括组分气钢瓶，其特征在于所述组分气钢瓶连组分气输入截止阀进口，组分气输入截止阀出口分别连组分气输入止回阀进口、吹扫截止阀出口，组分气输入止回阀出口连组分气杂质吸附器入口，并在两者之间设置组分气压力传感器，组分气杂质吸附器出口连组分气流路气动隔膜阀进口，本发明不同于常规ppm级标准气三次、四次稀释配置法，通过将测量用电子天平分别放置于平衡气原料钢瓶和组分气预充装钢瓶来实现高精度、低不确定度二元标准气体的混配。

技术领域

本发明涉及一种用来混配高精度、低不确定度二元标准气体的技术及装置，具体来说通过高精度天平测量平衡气钢瓶充装前后的质量改变，通过微克（μg）级电子天平测量组分气预充装钢瓶在充装前后的质量改变实现ppm级标准二元气体的一次充装。本发明不同于常规ppm级标准气三次、四次稀释配置法，通过将测量用电子天平分别放置于平衡气原料钢瓶和组分气充装钢瓶来实现高精度、低不确定度二元标准气体的混配。

背景技术

本发明涉及一种用来混配高精度、低不确定度二元标准气体的技术及装置，具体来说通过高精度天平测量平衡气钢瓶充装前后的质量改变，通过微克（μg）级电子天平测量组分气预充装钢瓶在充装前后的质量改变实现ppm级标准二元气体的一次充装。本发明不同于常规ppm级标准气三次、四次稀释配置法，通过将测量用电子天平分别放置于平衡气原料钢瓶和组分气充装钢瓶来实现高精度、低不确定度二元标准气体的混配。

发明内容

本发明开发了一种用来混配高精度、低不确定度二元标准气体的技术及装置，本发明装置通过测量平衡气钢瓶充装和组分气预充装钢瓶在充装前后的质量改变实现低不确定度ppm级标准二元气体的一次充装生产。

为实现本发明的目的，本发明一种用来混配高精度、低不确定度二元标准气体的装置，本发明针对上述问题主要通过以下技术方案得以解决：一种用来混配高精度、低不确定度二元标准气体的装置，该装置包括组分气钢瓶，其特征在于所述组分气钢瓶连组分气输入截止阀进口，组分气输入截止阀出口分别连组分气输入止回阀进口、吹扫截止阀出口。组分气输入止回阀出口连组分气杂质吸附器入口，并在两者之间设置组分气压力传感器。组分气杂质吸附器出口连组分气流路气动隔膜阀进口。组分气流路气动隔膜阀出口连接三通阀进口，三通阀出口分别连截止阀进口、截止阀进口。三通阀第三进出口连接组分气预充装钢瓶。截止阀出口连充装隔膜阀进口，充装隔膜阀出口通过充装减震绕管连充装截止阀进口，充装截止阀出口通过快插接口与标准气钢瓶接头连接。

作为优选：所述吹扫截止阀进口连吹扫气动隔膜阀出口，吹扫气动隔膜阀进口连吹扫阀门出口，吹扫阀门进口连吹扫气钢瓶接口。平衡气钢瓶通过平衡气输入截止阀连平衡气输入止回阀进口。平衡气输入止回阀出口连平衡气杂质吸附器入口，并在两者之间设置平衡气压力传感器。平衡气杂质吸附器出口连平衡气流路气动隔膜阀进口，平衡气流路气动隔膜阀出口分别连真空流路截止阀进口、截止阀出口、吹扫排空止回阀进口、超压排放止回阀进口、管道高压气排空阀进口。平衡气流路气动隔膜阀进口与截止阀出口之间设置有压力传感器、热电偶。

作为优选：所述真空流路截止阀出口连真空流路气动隔膜阀进口，并在两者之间设置真空电阻规。真空流路气动隔膜阀出口连真空泵抽真空口。真空泵排气口连消音器。消音器出口直接排大气。吹扫排空止回阀出口连吹扫排空气动隔膜阀（31）进口，吹扫排空气动隔膜阀出口直接连大气。超压排放止回阀出口通过安全阀直接连大气。管道高压气排空阀出口连高压气排空气动隔膜阀进口，高压气排空气动隔膜阀出口直接连大气。

本发明混配高精度、低不确定度二元标准气体的的方法至少有包括五步骤:1系统管道内空气置换； 2 系统管道抽真空；3 组分气充装；4系统管道抽真空；5平衡气充装。