[发明专利]一种Y轴导轨水平布置的双轴双龙门结构划片机

说明书

本发明涉及一种Y轴导轨水平布置的双轴双龙门结构划片机，包括基座，基座上设有X轴模组，X轴模组上安装有R轴组件，位于X轴模组两侧的基座上设有双龙门架，双龙门架的两横梁顶部沿Y轴设有两Y轴模组，所述两Y轴模组关于X轴模组对称设置，每个Y轴模组上安装有Z轴模组，Z轴模组的下部设有伸入双龙门架之间间隔处、位于所述R轴组件上的主轴组件，两主轴组件、两Z轴模组均关于X轴模组对称。本发明采用对称式双模组结构，提高结构稳定性，降低热应力变形影响，提高了定位和加工精度，同时大大提高了切割效率，节约成本。

技术领域

本发明涉及龙门式划片机技术领域，尤其是一种Y轴导轨水平布置的双轴双龙门结构划片机。

背景技术

现有砂轮划片机的结构形式，分为悬臂式和龙门式两种不同的设计。加工小尺寸工件比如4～6寸晶片的设备多为悬臂式，其主轴是悬伸于转台之上的；而加工8寸以上大尺寸工件的设备多为龙门式，其Y轴通过固定的龙门架跨于X轴之上，避免了主轴悬伸于转台之上的情况，因而比悬臂式具有更高的刚度和结构稳定性。

现有的龙门结构划片机中分为单轴和双轴两种，双轴画片机具有更高的效率，双轴切割时可以平衡切割应力，更好的控制崩边。固定在龙门架上的Y轴导轨布局是两根导轨平行布局在龙门架的侧面，采用侧装悬挂的结构方案由于Y轴导轨组件是侧向安装，重心倾向于一侧，结构受力完全是侧向受力，影响结构刚度，结构受力不平衡。

由于划片机很多应用场合需要较高精度，如硅晶圆的切割要求200mm行程内定位精度在2um以内，结构强度，零件变形，震动，热影响等因素都会硬想设备系统的精度，此类结构由于结构受力不平衡，易发生变形，震动等产生精度不稳定的风险；此类结构对传动零件，紧固零件提出了很高的质量要求，增加生产成本；此类结构采用单龙门非中心对称结构，对热影响，震动对系统结构的稳定性影响大；此类结构双轴运动时，结构强度，零件变形，震动，热影响等因素产生的影响较单轴更为明显。

发明内容

本申请人针对上述现有生产技术中的缺点，提供一种结构合理的Y轴导轨水平布置的双轴双龙门结构划片机，从而提高划片机整体结构稳定性，减小热变形和震动、热影响等因素对加工的影响。

本发明所采用的技术方案如下：

一种Y轴导轨水平布置的双轴双龙门结构划片机，包括基座，基座上设有X轴模组，X轴模组上安装有R轴组件，位于X轴模组两侧的基座上设有双龙门架，双龙门架的两横梁顶部沿Y轴设有两Y轴模组，所述两Y轴模组关于X轴模组对称设置，每个Y轴模组上安装有Z轴模组，Z轴模组的下部设有伸入双龙门架之间间隔处、位于所述R轴组件上的主轴组件，两主轴组件、两Z轴模组均关于X轴模组对称。

作为上述技术方案的进一步改进：

两Y轴模组的安装结构为：包括分别设于两横梁顶部的两Y轴导轨，两Y轴导轨上分别通过滑块组件滑动安装有两Y轴滑台，每个Y轴滑台的顶面上通过Z向支架安装所述Z轴模组，其结构为：包括沿Z轴平行间隔设于所述Z向支架侧面的两Z向导轨，两Z向导轨上通过滑块组件滑动安装有Z轴滑台，所述Z轴滑台底部沿Y轴延伸有横向折弯部，其底面上通过主轴连接座安装有切割主轴。

位于其中一侧横梁的顶部安装两对称设置的Y轴丝杆，每个Y轴丝杆一端与Y轴电机传动连接，另一端通过轴承支架固定，两Y轴丝杆上分别旋接有与两Y轴滑台底部连接的Y轴螺母。

X轴模组的结构为：包括X向底板，所述X向底板上安装有两平行间隔沿X轴延伸的X向导轨，两X向导轨上通过滑块组件滑动安装有固定R轴组件的X向滑台。

R轴组件的结构为：包括三角水平调节板，所述三角水平调节板与直驱回转电机连接，所述直驱回转电机的输出端安装有真空陶瓷吸盘。

位于两X向导轨之间的X向底板上安装有X向丝杆，其上通过与其旋接的丝杆螺母与所述X向滑台连接，X向丝杆一端与X向电机传动连接。