[发明专利]低温泵及低温板

说明书

本发明的低温泵(10)具备第2级低温板总成(20)，该第2级低温板总成(20)具备：被排出气体通过进气口(12)后沿直线路径能够到达的曝露区域(68)、及被排出气体通过进气口(12)后沿直线路径无法到达的非曝露区域(69)。非曝露区域(69)具有能够吸附非冷凝性气体的吸附区域(66)，曝露区域(68)被可拆卸的保护面(76)所覆盖。可拆卸的保护面(76)可以由可剥离地粘贴于曝露区域(68)的由树脂或金属制成的保护层来提供。

技术领域

本发明涉及一种低温泵及低温板。

背景技术

低温泵为通过冷凝或吸附将气体分子捕捉于被冷却至超低温的低温板进行排气的真空泵。低温泵通常用于实现半导体电路制造工艺等中要求的清洁的真空环境。低温泵为所谓的气体捕集式真空泵，因此，需要定期进行向外部排出已捕捉到的气体的再生。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10-184540号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

根据低温泵的用途，在真空排气运行中，即使进行再生也不易排出的某种气体会流入低温泵，其冷凝并附着于低温板上，而低温板会被这种附着物污染。被污染的低温板需要在对低温泵进行维护时从低温泵分解并进行清洗。清洗后的低温板如果能够重复利用则重新组装使用。若无法重复利用则将其报废并更换成新的低温板。总之，这种维护需要耗费功时。本发明的一种实施方式的例示性目的之一在于使低温泵的维护变得容易。

用于解决技术课题的手段

根据本发明的一种实施方式，低温泵具备低温板总成，所述低温板总成具备：被排出气体通过低温泵进气口后沿直线路径能够到达的曝露区域、及被排出气体通过低温泵进气口后沿直线路径无法到达的非曝露区域。非曝露区域具有能够吸附非冷凝性气体的吸附区域，曝露区域被可拆卸的保护面所覆盖。

根据本发明的一种实施方式，低温板具备低温板基材及覆盖低温板基材的至少一部分的可拆卸的保护面。

另外，以上构成要件的任意组合或在方法、装置、系统等之间相互替换本发明的构成要件和表现的方式也作为本发明的方式而有效。

发明效果

根据本发明，能够使低温泵的维护变得容易。

附图说明

图1概略地表示一种实施方式所涉及的低温泵。

图2是示意地表示图1所示的低温泵中使用的例示性的低温板的立体图。

图3是示意地表示图1所示的低温泵中使用的另一例示性的低温板的立体图。

图4是示意地表示图1所示的低温泵中使用的又一例示性的低温板的俯视图。

具体实施方式

以下，参考附图对本发明的实施方式进行详细说明。在以下说明及附图中，对相同或等同的构成要件、部件及处理标注相同的符号，并适当省略重复说明。为了便于说明，在各附图中，适当设定各部的缩尺和形状，除非另有说明，其并不作限定性解释。实施方式为示例，其并不对本发明的范围作任何限定。实施方式中记载的所有特征及其组合并不一定是发明的本质。

图1概略地表示一种实施方式所涉及的低温泵10。

低温泵10例如安装于离子注入装置、溅射镀置、蒸镀装置或其他真空处理装置的真空腔室，并用于将真空腔室内部的真空度提高至所希望的真空处理中要求的水平。低温泵10具有用于从真空腔室接收应排出的气体的低温泵进气口(以下，还简称为“进气口”)12。气体通过进气口12而进入到低温泵10的内部空间14。