[实用新型]一种电注入装置

说明书

本实用新型属于太阳能电池生产技术领域，公开了一种电注入装置，该电注入装置包括壳体和电注入部，所述壳体内具有工艺腔，所述电注入部能向容置于所述工艺腔内的硅片通电，以对所述硅片进行电注入作业并使所述硅片升温，所述工艺腔内还设置有：辅助加热结构，所述辅助加热结构与备用电源电性连接，以在通电时加热所述硅片；以及测温组件，所述测温组件用于测量所述硅片的温度，并与所述备用电源电性连接。本实用新型提供的电注入装置能够通过测温组件测量硅片的异常温降，并通过由备用电源供电的辅助加热结构维持硅片的温度，以确保处于电注入作业中的硅片不因异常温降而影响电注入效果和产能，并避免硅片报废。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域，尤其涉及一种电注入装置。

背景技术

电注入工序是太阳能电池片生产过程中的重要一环，该工序主要是将硅片通电，向硅片注入载流子并使硅片发热至适宜的温度范围，以钝化硅片体内缺陷、改善硅片的抗光衰减性。

目前，量产的电注入工序中，普遍采用通道式的电注入装置，该通道式电注入装置包括多个连续设置的能向硅片通电的电注入腔室、用于冷却完成电注入的硅片的冷却腔室，以及用于传输硅片的传输机构等。在生产中，若个别电注入腔室发生故障，或传输机构发生故障等皆易诱发控制系统报错，使电注入装置的控制器通切断电注入的电流供应，使正处于被作业中的硅片降温至上述适宜的温度范围以下，严重影响电注入的效果和产能，甚至造成硅片报废。

因此，上述问题亟待解决。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供电注入装置，用于解决电注入装置的异常温降影响硅片电注入效果的问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种电注入装置，包括壳体和电注入部，所述壳体内具有工艺腔，所述电注入部能向容置于所述工艺腔内的硅片通电，所述工艺腔内还设置有：

辅助加热结构，设置于所述工艺腔内，所述辅助加热结构与备用电源电性连接，以在通电时加热所述硅片；

测温组件，设置于所述工艺腔内，所述测温组件用于测量所述硅片的温度，并与所述备用电源电性连接。

作为优选，所述辅助加热结构为红外加热灯管。

作为优选，所述红外加热灯管的延伸方向平行于所述硅片的传输方向，所述红外加热灯管的长度与所述硅片边长的差值为±5cm。

作为优选，所述红外加热灯管的延伸方向垂直于所述硅片的传输方向，所述红外加热灯管的长度与所述硅片的叠层高度的差值为±5cm。

作为优选，各个所述红外加热灯管平行设置。

作为优选，所述电注入装置还包括控制器，所述控制器与所述电注入部、所述辅助加热结构、所述测温组件及所述备用电源电性连接。

作为优选，所述壳体包括上下相对的顶壁和底壁，以及连接所述顶壁和所述底壁的侧部且相对设置的两个侧壁；

所述电注入装置还包括连接于所述顶壁和所述底壁的端部、用于封闭所述壳体以形成所述工艺腔的门体；

所述辅助加热结构设置于所述顶壁、所述底壁或所述侧壁内侧。

作为优选，所述辅助加热结构对称地设置于两所述侧壁内侧，且与容置于所述工艺腔内的所述硅片的位置对应。

作为优选，所述门体与所述壳体滑动连接或铰接。

作为优选，所述电注入装置还包括传输机构，所述传输机构用于向所述工艺腔内输送硅片。

本实用新型的有益效果：