[实用新型]一种烧结装置

说明书

本实用新型实施例公开一种烧结装置，包括烧结炉体，所述烧结炉体内设置烧结腔，所述烧结腔的内腔壁表面涂有钛层，所述烧结腔的左侧内腔壁、右侧内腔壁、后侧内腔壁和前侧内腔壁上均设置加热丝，所述烧结腔的上侧内腔壁和下侧内腔壁上均设置呈阵列排布的卡块；这样，所述烧结腔内设置的所述钛层可以使得所述烧结炉内工作中无污染，环境好，加热速度快，加热均匀，而所述烧结腔的左侧内腔壁、右侧内腔壁、后侧内腔壁和前侧内腔壁上设置的加热丝用于进行加热，在使用时，由于所述烧结腔的上侧内腔壁和下侧内腔壁上均设置呈阵列排布的所述卡块，硅板可以卡接在两个所述卡块之间的缝隙，从而竖立设置在所述烧结炉体内进行烧结。

技术领域

本实用新型涉及一种热处理装置，尤其涉及一种烧结装置。

背景技术

使用烧结装置对硅片进行烧结时，一般是将硅片直接放入到烧结炉体内进行烧结，但这样使用时，硅片与烧结炉体内的下侧墙壁由于相互接触，所述会使得硅片两面的受热烧结效果不一致，影响硅片的质量。

实用新型内容

为解决以上技术问题，本实用新型实施例提供一种烧结装置，可以通过烧结腔的上侧内腔壁和下侧内腔壁上设置的呈阵列排布的卡块，使得硅片可以通过卡块竖直设置在烧结炉体内，从而保证硅片的两面受热均匀，保证硅片的烧结效果。

为达上述目的，本实用新型实施例的技术方案是这样实现的：

本实用新型实施例提供一种烧结装置，包括烧结炉体，所述烧结炉体内设置烧结腔，所述烧结腔的内腔壁表面涂有钛层，所述烧结腔的左侧内腔壁、右侧内腔壁、后侧内腔壁和前侧内腔壁上均设置加热丝，所述烧结腔的上侧内腔壁和下侧内腔壁上均设置呈阵列排布的卡块。

在本实用新型中，所述烧结腔的上侧内腔壁上开设第一安装槽，其中，所述第一安装槽内设置第一安装板，所述第一安装板上开设第一安装螺孔，位于所述烧结腔上侧内腔壁的卡块通过螺栓与所述第一安装螺孔的配合设置在所述第一安装板上。

在本实用新型中，在所述烧结腔的上侧内腔壁上，所述第一安装板与所述第一安装槽的连接处设置钛板，其中，所述钛板安装在所述第一安装板上。

在本实用新型中，所述烧结腔的下侧内腔壁上开设第二安装槽，其中，所述第二安装槽内设置第二安装板，所述第二安装板上开设第二安装螺孔，位于所述烧结腔下侧内腔壁的卡块通过螺栓与所述第二安装螺孔的配合设置在所述第二安装板上。

在本实用新型中，所述第二安装板与所述第二安装槽滑动连接，所述第二安装板与所述第二安装槽的槽底设置空腔，所述空腔内设置与所述第二安装板连接的把手。

本实用新型实施例提供一种烧结装置，包括烧结炉体，所述烧结炉体内设置烧结腔，所述烧结腔的内腔壁表面涂有钛层，所述烧结腔的左侧内腔壁、右侧内腔壁、后侧内腔壁和前侧内腔壁上均设置加热丝，所述烧结腔的上侧内腔壁和下侧内腔壁上均设置呈阵列排布的卡块；这样，所述烧结腔内设置的所述钛层可以使得所述烧结炉内工作中无污染，环境好，加热速度快，加热均匀，而所述烧结腔的左侧内腔壁、右侧内腔壁、后侧内腔壁和前侧内腔壁上设置的加热丝用于进行加热，在使用时，由于所述烧结腔的上侧内腔壁和下侧内腔壁上均设置呈阵列排布的所述卡块，硅板可以卡接在两个所述卡块之间的缝隙，从而竖立设置在所述烧结炉体内进行烧结。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种烧结炉的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的烧结腔内部的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。