[实用新型]双级纯化器

说明书

本实用新型公开了双级纯化器，包括纯化器主体、过滤器、临时存储罐、吸附树脂、活性炭颗粒、干燥剂颗粒和安置筒，纯化器主体的外壁上安装有过滤器，过滤器通过第一进气管道与纯化器主体相互连通，过滤器的内部安置有吸附树脂，吸附树脂的下方安置有活性炭颗粒，活性炭颗粒的下方设置有干燥剂颗粒，纯化器主体的右侧安装有临时存储罐。本实用新型通过设置的纯化器主体、过滤器、临时存储罐、吸附树脂、活性炭颗粒、干燥剂颗粒和安置筒，解决了手需要定期的拆开清理固体或者粉尘残留物，影响设备的工作效率，并且在更换纯化后气体存储容器后需要临时的停止纯化器的运行，更换结束后在启动纯化器，操作起来繁琐复杂的问题。

技术领域

本实用新型涉及气体纯化加工设备技术领域，具体为双级纯化器。

背景技术

气体纯化器是去除气体中杂质的一种装置，在工业生产及科研活动中应用广泛，例如在半导体制造工业中的等离子体刻蚀、发光二极管制造工业中外延片金属有机化学气相沉积工艺等，都需要采用气体纯化器用以提供、确保高纯度气体，且对于纯度的要求越来越高。当前大部分相关工艺要求气体中杂质含量不超过1ppm，在集成电路的生产工艺中要求纯度达到7N～8N，个别要求杂质含量低于1ppb。高纯度的气体纯化器通常采用活性金属为化学吸附剂，当原料气通过活性金属纯化床时，气体中杂质，如惰性气体中的O2、H2O、CO、CO2、CH4等气体与活性金属发生化学吸附反应，从而得到99.9999％以上的超高纯气体。

但是，目前技术具有以下不足：在气体中掺杂的固体颗粒物以及粉尘等固体杂质被清理留在纯化器的内部，需要定期的拆开清理，影响设备的工作效率，并且在更换纯化后气体存储容器后需要临时的停止纯化器的运行，更换结束后在启动纯化器，操作起来繁琐复杂。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了双级纯化器，解决了手需要定期的拆开清理固体或者粉尘残留物，影响设备的工作效率，并且在更换纯化后气体存储容器后需要临时的停止纯化器的运行，更换结束后在启动纯化器，操作起来繁琐复杂的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：双级纯化器，包括纯化器主体、过滤器、临时存储罐、吸附树脂、活性炭颗粒、干燥剂颗粒和安置筒，所述纯化器主体的外壁上安装有过滤器，所述过滤器通过第一进气管道与纯化器主体相互连通，所述过滤器的内部安置有吸附树脂，所述吸附树脂的下方安置有活性炭颗粒，所述活性炭颗粒的下方设置有干燥剂颗粒，所述吸附树脂、活性炭颗粒和干燥剂颗粒均装填在安置筒中，所述安置筒通过橡胶固定圈与过滤器的内壁固定连接，所述纯化器主体的右侧安装有临时存储罐。

优选的，所述纯化器主体的下部固定连接在基座支架上，所述纯化器主体的外壁上固定连接有压力显示表，所述纯化器主体通过固定架与过滤器固定连接，且固定架通过螺栓与纯化器主体的外壁固定连接。

优选的，所述吸附树脂、活性炭颗粒和干燥剂颗粒从上到下依次设置在过滤器的内部，所述安置筒的上下两端均采用网罩封口，所述安置筒的上下两端均采用橡胶固定圈与过滤器的内壁固定连接，且橡胶固定圈的尺寸略大于安置筒与过滤器内壁之间的间隙，所述过滤器上安装有输气管道，所述输气管道上串联有第一电磁阀。

优选的，所述临时存储罐的下部与第一固定板的上部固定连接，所述第一固定板与纯化器主体的外壁固定连接，所述临时存储罐上部的进气口上固定连接有第二进气管道，且第二进气管道的上端与第一出气管道相互连通，所述临时存储罐侧壁上设置的出气口上固定连接有第二出气管道，且第二出气管道与第一出气管道相互连通，所述第二进气管道和第二出气管道上均串联有第三电磁阀，所述第一出气管道固定连接在纯化器主体的出气口上，所述第一出气管道上串联有第二电磁阀。