[实用新型]一种附属设备的控制装置

说明书

本实用新型实施例涉及设备控制技术领域，公开了一种附属设备的控制装置，包括：连接工艺设备的事件服务器、与事件服务器连接的控制服务器；事件服务器获取工艺设备的当前处理事件及当前工作状态；控制服务器的存储模块存储有历史处理事件与历史工作状态数据的对应关系；控制服务器的处理模块获取对应关系，并根据工艺设备的当前处理事件、以及对应关系，计算在当前处理事件发生后工艺设备的预测工作状态数据；控制模块依据预测工作状态数据控制附属设备的工作状态跟随工艺设备的当前工作状态的变化而变化。本实用新型实施方式提供的附属设备的控制装置，既能够节约电能又能够提升附属设备的使用寿命。

技术领域

本实用新型实施例涉及设备控制技术领域，特别涉及一种附属设备的控制装置。

背景技术

在半导体厂，现有的工艺设备一般具有专用的附属设备，例如：箱式工艺设备具有真空泵和第一气体处理模块等附属设备，以便在每道工序完成时排出有害的工艺气体。

然而，发明人发现现有技术中至少存在如下问题：一般来说，工艺设备重复处理、闲置、维护周期，这意味着当工艺设备闲置时，附属设备虽然并不进行处理，但依然处于运行状态。既消耗电能又有损于附属设备的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型实施方式的目的在于提供一种附属设备的控制装置，使得既能够节约电能又能够提升附属设备的使用寿命。

为解决上述技术问题，本实用新型的实施方式提供了一种附属设备的控制装置，包括：连接工艺设备的事件服务器、与事件服务器连接的控制服务器；事件服务器获取工艺设备的当前处理事件及当前工作状态，并将当前处理事件及当前工作状态传送至控制服务器；控制服务器包括：存储模块，连接存储模块、并与事件服务器连接的处理模块，连接处理模块、并与附属设备连接的控制模块；存储模块存储有历史处理事件与历史工作状态数据的对应关系；处理模块获取对应关系，并根据工艺设备的当前处理事件、以及对应关系，计算在当前处理事件发生后工艺设备的预测工作状态数据，并将预测工作状态数据传送至控制模块；控制模块依据预测工作状态数据控制附属设备的工作状态跟随工艺设备的当前工作状态的变化而变化。

本实用新型实施方式相对于现有技术而言提供了一种附属设备的控制装置，事件服务器获取工艺设备的当前处理事件及当前工作状态，并将工艺设备的当前处理事件以及当前工作状态传送至控制服务器，由于控制服务器的存储模块中预先存储有历史处理事件与历史工作状态数据的对应关系，因此，控制服务器的处理模块可以获取该对应关系，从而计算出该当前处理事件发生后的工艺设备的预测工作状态数据，处理模块将预测工作状态数据发送至控制服务器的控制模块，控制模块依据工艺设备当前处理事件下的预测工作状态数据，控制附属设备根据工艺设备的当前工作状态的变化而变化，避免了工艺设备在处理事件过程中处于闲置状态下时，连接工艺设备的附属设备一直处于工作状态，节约了电能，同时避免了长期处于工作状态下消耗过多而影响到附属设备的使用寿命，提高了附属设备的使用寿命。

另外，事件服务器检测工艺设备的工作状态，并将工作状态传送至处理模块；其中，工作状态包括运行状态和非运行状态；处理模块获取到工艺设备进入非运行状态时，触发控制模块；控制模块被触发后控制附属设备进入非运行状态，并维持附属设备处于非运行状态预测运行状态间隔时长，其中，预测工作状态数据至少包括：预测运行状态间隔时长。该方案中控制服务器的控制模块控制附属设备处于非运行状态预测运行状态间隔时长，以此来减少附属设备的消耗。