[实用新型]旋盖装置

说明书

一种旋盖装置，包含有旋盖器、液体输送器以及光学侦测器。液体输送器设置于旋盖器的一侧，而及光学侦测器则设置于旋盖器与液体输送器之间。其中，光学侦测器用以侦测化学桶的密封盖的位置，以使旋盖器对准密封盖，并利用旋盖器开启密封盖，然后再以液体输送器传输化学液体，以便于进行化学储存桶的更换。

技术领域

本实用新型是有关于一种旋盖装置。特别是有关于一种多功能旋盖装置。

背景技术

随着近年来国内外半导体市场因电脑及其周边产品材料的需求而蓬勃发展，半导体产业亦不断的持续扩展，更替国家创造了大量的外汇收入。

半导体组件的制作流程非常复杂，所涉及的技术几乎含盖所有人类近代科学发展上最重要且关键的科技与新型。因此，半导体组件的生产不但是一项尖端科技的产业，也是一项需要庞大资金，以维持发展的需求。

然而，由于半导体组件的设计日趋复杂，因此半导体组件制造技术愈趋精密与复杂化，所潜在的职业危害与财产损失也愈来愈复杂，举凡半导体制造过程中的磊晶、扩散、离子植入、化学气相沉积、蚀刻和微影等制造过程单元所常使用的化学品，虽然储存量与使用量皆远小于化学或石化工业所处理与使用量，但是由于具有着火性、可燃性、毒性、腐蚀性等特性，一旦发生泄漏或操作异常，亦造成人员伤亡，甚至可能造成重大财产损失。

在半导体工厂，化学液体以化学储存桶储存，使用时接上工厂中的供应线路。当化学液体使用完毕，则需进行化学储存桶的更换。

如何能方便地进行化学储存桶的更换，将有助于提升半导体厂工作的安全性，更有助于提升半导体厂的整体产能。

发明内容

新型内容旨在提供本揭示内容的简化摘要，以使阅读者对本揭示内容具备基本的理解。此新型内容并非本揭示内容的完整概述，且其用意并非在指出本实用新型实施例的重要/关键组件或界定本实用新型的范围。

本实用新型内容之一目的是在提供一种旋盖装置，可以方便地开启或密合化学储存桶的密封盖，以提升更换化学储存桶的安全性与便利性。

为达上述目的，本实用新型内容之一技术态样是关于一种旋盖装置，包含有旋盖器、液体输送器以及光学侦测器。液体输送器设置于旋盖器的一侧，而及光学侦测器则设置于旋盖器与液体输送器之间。其中，光学侦测器用以侦测化学桶的密封盖的位置，以使旋盖器对准密封盖，并利用旋盖器开启密封盖，然后再以液体输送器传输化学液体。

在一些实施例中，液体输送器包含有液体抽取器，以抽取化学液体。

在一些实施例中，液体输送器包含有液体回流器，以让化学液体回流至化学桶。

在一些实施例中，旋盖装置还包括有固定板、二上下移动装置以及二水平移动装置。二上下移动装置分别连接于固定板与旋盖器，以及固定板与液体输送器之间，以分别上下移动旋盖器以及液体输送器。而二水平移动装置则连接于固定板，以使固定板可水平移动。

在一些实施例中，旋盖装置还包括有隔离板以及二弹性隔离罩，二弹性隔离罩连接隔离板以及固定板之间，以隔离化学桶所挥发的化学气体。

在一些实施例中，旋盖装置还包括有第一马达，连接于液体输送器，以将液体输送器连接于化学桶的开口。旋盖装置还包括有第二马达，连接于旋盖器，以利用旋盖器将密封盖由化学桶的开口上开启或关闭。

在一些实施例中，第一马达与第二马达是扭力马达并且可以侦测实际的扭力值。

在一些实施例中，旋盖装置还包括有液体输送管连接于液体输送器，以直接由化学桶的开口传输化学液体。

在一些实施例中，上下移动装置分别包含气压缸以及位置侦测器，以侦测气压缸的工作位置。

在一些实施例中，旋盖器与液体输送器可以根据化学桶的密封盖的形式选择对应的开盖接头。