[实用新型]一种降低PCW水箱中空气进入PCW系统的装置

说明书

本实用新型公开的一种降低PCW水箱中空气进入PCW系统的装置，包括PCW水箱，PCW水箱中存储有冷却水，PCW水箱内设置有一块隔板，隔板位于冷却水的液面以下，隔板将PCW水箱内部分为回水区和供水区，PCW水箱顶部位于回水区上方的位置连接有回水管道，PCW水箱位于回水区侧面的位置连接有供水管路。本实用新型利用隔板将PCW水箱分隔成回水区和供水区，PCW水回流到回水区后，产生的气泡在回水区上升脱离冷却水，然后再由供水区进行供水；通过将隔板倾斜向供水区以及在设置挡板在供水区，增加了回水区释放气泡的区域，同时也不会影响到供水，使得供循环用水中的气泡大大减少，提高了PCW系统对半导体设备的散热性能。

技术领域

本实用新型属于半导体生产设备技术领域，具体涉及一种降低PCW水箱中空气进入PCW系统的装置。

背景技术

工艺冷却水(PCW)系统在半导体设备生产运行中占有重要位置，在半导体设备运行过程中，半导体工艺设备散热的均匀性取决于PCW温度稳定性及PCW系统有无进入空气。

PCW系统为闭式系统，所有回水会回到PCW水箱中再经水泵及板换换热供应；在PCW水回到PCW水箱时因重力原因会产生气泡，这样会将气泡吸入至循环水泵当中，供应至PCW系统当中，影响半导体设备散热性能。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种降低PCW水箱中空气进入PCW系统的装置，解决了现有的PCW水回到PCW水箱时产生的气泡会影响半导体散热性能的问题。

本实用新型所采用的技术方案是：一种降低PCW水箱中空气进入PCW 系统的装置，包括PCW水箱，所述PCW水箱中存储有冷却水，所述PCW 水箱内设置有一块隔板，所述隔板位于所述冷却水的液面以下，所述隔板将所述PCW水箱内部分为回水区和供水区两个部分，所述PCW水箱顶部位于所述回水区上方的位置连接有回水管道，所述PCW水箱位于所述回水区侧面的位置连接有供水管路，所述PCW水箱顶部设置有排气管。

本实用新型的特点还在于，

所述回水管道的出水口位于所述回水区液面以下。

所述隔板倾向于所述供水区倾斜设置。

所述隔板顶部还连接有挡板，所述挡板位于所述供水区。

所述供水管路位于靠近PCW水箱底部的位置。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的一种降低PCW水箱中空气进入PCW系统的装置利用隔板将PCW水箱分隔成回水区和供水区，PCW水回流到回水区后，产生的气泡在回水区上升脱离冷却水，然后再由供水区进行供水；进一步的，通过将隔板倾斜向供水区以及在设置挡板在供水区，增加了回水区释放气泡的区域，同时也不会影响到供水；进一步的，将供水管路靠近PCW水箱底部设置，使得进入供水区的极少量气泡也可以有足够距离和时间上升释放；优选的，为了降低PCW水因重力落下产生大量气泡，将回水管道通入回水区内，更会大量减少气泡的产生。通过上述结构的结合，使得供循环用水中的气泡大大减少，提高了PCW系统对半导体设备的散热性能。

附图说明

图1是本实用新型降低PCW水箱中空气进入PCW系统的装置的结构示意图。

图中，1.PCW水箱，2.供水管路，3.回水管路，4.隔板，5.挡板，6.排气管。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。