[实用新型]一种带充气功能的超高真空自动排气台

说明书

本实用新型公开一种带充气功能的超高真空自动排气台，包括机架，所述机架内侧分别设有检测组件、充气抽气组件和真空组件，所述充气组件和真空组件均通过连接管路与检测组件连通，所述检测组件包括检测台，所述检测台侧面设有数个工位截止阀，所述充气抽气组件包括充气用不锈钢接管、充气用气动截止阀和抽气用气动截止阀，所述充气用气动截止阀通过微孔管道与充气用不锈钢接管连通，所述抽气用气动截止阀通过大孔抽气管与充气用不锈钢接管连通，所述充气用气动截止阀和抽气用气动截止阀通过连接管路与检测台连通，所述真空组件包括干泵、涡轮分子泵和离子泵。本实用新型能够获得超高真空，同时可实现对每个工位精确控制的自动充气。

技术领域

本实用新型属于真空排气装置领域，具体涉及一种带充气功能的超高真空自动排气台。

背景技术

现代科技的发展对真空技术的要求越来越高，许多器件需要在其内部形成超高真空条件然后再定压充入微量气体，激光陀螺的制造过程就是一个典型例证。超高真空的获得过程需要较长时间（有时要数天），要满足对超高真空器件日益增加的需求量就必须增加超高真空排气台的数量，为了减少人为失误并降低人工成本就需要带充气功能的超高真空自动排气台。

要获得超高真空除了需要合适的真空泵外更重要的是系统能承受较高温度的烘烤，所以超高真空排气台要求用全金属超高真空阀。对于带充气功能的超高真空自动排气台，当然就需要自动控制的全金属超高真空截止阀和自动控制的全金属超高真空微调阀，目前国际上只有极少的公司提供气动全金属超高真空阀，但尚未发现能自动控制的超高真空微调阀，这就给研制带充气功能的超高真空自动排气台造成了极大的困难。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题便是针对上述现有技术的不足，提供一种带充气功能的超高真空自动排气台，这种排气台不仅能对系统自动烘烤至所需温度 ̖自动排气至超高真空，更重要的是解决了自动定压充入微量气体的问题。

本实用新型所采用的技术方案是：一种带充气功能的超高真空自动排气台，包括机架，所述机架内侧分别设有检测组件、充气抽气组件和真空组件，所述充气抽气组件和真空组件均通过连接管路与检测组件连通，所述检测组件包括检测台，所述检测台侧面设有数个工位截止阀，所述工位截止阀远离检测台的一端设有工位波纹管可伐玻璃，所述充气抽气组件包括充气用不锈钢接管、充气用气动截止阀和抽气用气动截止阀，所述充气用气动截止阀通过微孔管道与充气用不锈钢接管连通，所述微孔管道内部的小孔直径小于0.05mm，所述抽气用气动截止阀通过大孔抽气管与充气用不锈钢接管连通，所述充气用气动截止阀和抽气用气动截止阀通过连接管路与检测台连通，所述真空组件包括干泵、涡轮分子泵和离子泵，所述干泵通过连接管路与涡轮分子泵连通，所述连接干泵和涡轮分子泵的连接管路上分别设有压差阀、热偶规和检漏阀，所述涡轮分子泵和离子泵通过连接管路与检测台连通，所述连接涡轮分子泵和离子泵与检测组件的连接管路上分别设有电容薄膜规和电离规。

其中一个实施例中，所述涡轮分子泵通过分子泵固定支架与机架连通，所述涡轮分子泵通过分子泵过渡法兰与连接管路连通。

其中一个实施例中，所述离子泵通过离子泵固定支架与机架连通，所述离子泵通过离子泵过渡法兰与连接管路连通。

其中一个实施例中，所述连接管路上靠近离子泵和涡轮分子泵的一端分别设有离子泵阀和分子泵阀。

其中一个实施例中，所述充气用不锈钢接管上设有减压阀。

本实用新型的有益效果在于：

1、通过干泵、涡轮分子泵、离子泵和各种管路所组成的真空组件，可保证真空度达到一个很高的标准；

2、通过热偶规、电容薄膜规和电离规组成的测量系统，可对抽真空过程中的参数进行测量；

3、通过充气用不锈钢接管、充气用气动截止阀和抽气用气动截止阀组成的充气抽气组件，可实现迅速的充气和抽气；