[实用新型]真空电极有效
申请号: | 201920174890.6 | 申请日: | 2019-01-31 |
公开(公告)号: | CN209526062U | 公开(公告)日: | 2019-10-22 |
发明(设计)人: | 李永明;何娜娜;王少哲;黄俊杰;刘智清;李婷婷;邹建军;黄浩 | 申请(专利权)人: | 昆山国力大功率器件工业技术研究院有限公司 |
主分类号: | H01J1/02 | 分类号: | H01J1/02 |
代理公司: | 昆山中际国创知识产权代理有限公司 32311 | 代理人: | 张文婷 |
地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 外导体 空心腔 陶瓷窗 焊接固定 真空电极 内导体 体内 空心腔体 上端 下端 本实用新型 圆柱体结构 超高真空 法兰焊接 高导电 高导热 上端套 外侧面 无磁性 穿入 法兰 周面 | ||
1.一种真空电极,其特征在于:包括第一外导体(1)、第二外导体(2)、内导体(3)、陶瓷窗(5)和法兰(6),所述第一外导体和第二外导体均有中心带有空心腔体的圆柱体结构,所述第二外导体的下端与第一外导体的上端套接并焊接固定形成整个外导体;所述陶瓷窗的中心设有空心腔体,其外周面焊接固定于所述第二外导体靠近所述第一外导体的一端的空心腔体内;所述内导体的上端置于第二外导体的空心腔体内,且下端依次从所述陶瓷窗的空心腔体内穿入至所述第一外导体的空心腔体内,且所述内导体的中部外侧面与所述陶瓷窗焊接固定;所述法兰焊接固定于所述第二外导体的上端面上。
2.根据权利要求1所述的真空电极,其特征在于:所述内导体的下端的半径小于其上端的半径,该内导体上端突出下端的部分形成台阶,该台阶与所述陶瓷窗的上端面配合连接并焊接固定。
3.根据权利要求2所述的真空电极,其特征在于:所述台阶上设有焊接垫片(4)。
4.根据权利要求3所述的真空电极,其特征在于:所述第一外导体为不锈钢材质制成;所述第二外导体为无氧铜制成。
5.根据权利要求3所述的真空电极,其特征在于:所述内导体为铍青铜制成。
6.根据权利要求3所述的真空电极,其特征在于:所述焊接垫片为无氧铜材料制成。
7.根据权利要求1所述的真空电极,其特征在于:所述陶瓷窗为氧化铝陶瓷制成,至少包括95瓷、99瓷和蓝宝石其中之一。
8.根据权利要求1所述的真空电极,其特征在于:所述第一外导体和第二外导体之间,陶瓷窗和第二外导体之间,陶瓷窗与内导体之间,以及法兰和第二外导体之间通过钎焊一次进炉焊接固定。
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