[实用新型]一种蒸发腔

说明书

本实用新型提供一种蒸发腔，该蒸发腔包括：蒸发腔本体；气体检测部件，所述气体检测部件设置于所述蒸发腔本体的腔室内，用于检测所述腔室内的目标气体的浓度；显示部件，所述显示部件设置于所述蒸发腔本体外，所述显示部件与所述气体检测部件电连接，用于显示所述目标气体的浓度。由于在蒸发腔本体的腔室内设置有用于检测目标气体的浓度的气体检测部件，在蒸发腔本体外设置有显示目标气体的浓度的显示部件，从而无需由检测人员用手将检测仪器伸入腔室内进行检测，这样，能够使得检测更加简单、方便，省时省力，且能够大大减小对检测人员的危害。

技术领域

本实用新型涉及气体检测技术领域，尤其涉及一种蒸发腔。

背景技术

在薄膜太阳能电池例如，铜铟镓硒太阳能薄膜电池(简称CIGS)的制造过程中，需要用到镀膜设备，镀膜设备通过共蒸发技术生产太阳能电池的核心部分。镀膜设备配备有用于进行镀膜的蒸发腔，在镀膜装置的使用过程中，蒸发腔的腔室一般处于关闭状态，但在某些情形下，例如，更换或者装填源材料时，需要将蒸发腔的腔室打开。

由于某些源材料在共蒸发镀膜过程中会产生对人体或环境有害的气体，因而在打开腔室之前需要通过洗气降低腔室内的有害气体浓度，以满足排放标准。在洗气过程中，需要对有害气体的浓度进行检测以确定其是否满足排放标准，目前，主要采用人工检测腔室内的有害气体浓度，即在蒸发腔上开小口，然后由检测人员用手将检测仪器伸入腔室内进行检测，这种检测方式不仅操作麻烦，费时费力，而且对检测人员的危害较大。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种蒸发腔及蒸发腔气体检测方法，以解决目前主要采用人工检测腔室内的有害气体浓度，即在腔壁上开小口，然后由检测人员用手将检测仪器伸入腔室内进行检测，这种检测方式不仅操作麻烦，费时费力，而且对检测人员的危害较大的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是这样实现的：

第一方面，本实用新型实施例提供了一种蒸发腔，包括：

蒸发腔本体；

气体检测部件，所述气体检测部件设置于所述蒸发腔本体的腔室内，用于检测所述腔室内的目标气体的浓度；

显示部件，所述显示部件设置于所述蒸发腔本体外，所述显示部件与所述气体检测部件电连接，用于显示所述目标气体的浓度。

可选的，所述蒸发腔还包括第一控制件，所述第一控制件设置于所述蒸发腔本体外，所述第一控制件与所述气体检测部件电连接，用于控制所述气体检测部件工作。

可选的，所述蒸发腔还包括保护组件，所述保护组件至少具有第一工作状态和第二工作状态；

其中，当所述保护组件处于所述第一工作状态时，所述保护组件遮挡所述气体检测部件；当所述保护组件处于所述第二工作状态时，所述气体检测部件至少部分外露。

可选的，所述保护组件包括：

保护罩，所述保护罩设置于所述腔室内，所述保护罩至少具有第一工作位置和第二工作位置；在所述第一工作位置时，所述保护罩遮挡所述气体检测部件；在所述第二工作位置时，所述气体检测部件至少部分外露；

驱动机构，所述驱动机构与所述保护罩传动连接，用于驱动所述保护罩运动至所述第一工作位置或所述第二工作位置；

第二控制件，所述第二控制件设置于所述蒸发腔本体外，所述第二控制件与所述驱动机构电连接，用于控制所述驱动机构工作。

可选的，所述保护组件还包括保护连接件，所述保护连接件嵌设于所述蒸发腔本体上且贯穿所述蒸发腔本体，所述保护连接件的第一端面位于所述腔室内，所述保护连接件的第二端面位于所述蒸发腔本体外，所述保护连接件内开设有安装腔，所述安装腔贯穿所述保护连接件的第一端面；