[实用新型]一种3D显微镜

说明书

本实用新型涉及一种3D显微镜，包括显微镜本体，所述镜本体包括观测组件、调焦组件、载物台以及能驱动所述台进行动的载物台调节组件。还包括控制电路板以及用于带动载有微结构的载玻片进行转动运动的位置调节机构，位置调节机构设置在所述载物台上，位置调节机构包括用于固定载玻片的支撑组件以及驱动支撑组件相对于载物台进行转动的驱动组件，驱动组件与控制电路板电连接。本实用新型中的3D显微镜能够更加充分利用显微镜本体结构，结构简单且能够直接设置在显微镜本体上即能实现微结构的立体观测，并且能与显微镜本体一体化设置以更易实现量产、携带、操作。

技术领域

本实用新型涉及微结构检测技术领域，特别涉及一种3D显微镜。

背景技术

近年来，随着各种微加工技术的发展，飞秒激光双光子微加工技术在众多领域得到了快速的发展及应用。微结构尺寸一般都在1μm-1000μm范围内,肉眼无法观测微结构的具体形貌和尺寸。所以在制备微结构前，通常需要使用各种限位技术对微结构进行观察或检测。目前观察微结构的主要方法是使用传统显微镜和扫描电子显微镜两种。传统的普通光学显微镜成本低，简单易操作。但是在进行观测时只能观测微结构的一个二维平面，无法实现多个角度对微结构进行观测。而微加工的立体图案复杂，观测一个平面图像往往无法准确地展现微结构的具体三维形态。因此，利用普通的光学显微镜对3D 微加工产品进行观测具有很大的局限性。扫描电子显微镜则能够实现对微结构三维形态的全面观测，同时可以精确的测量微结构的尺寸。但是电子扫描显微镜价格昂贵，操作过程复杂，且在使用时需要在被测样品上镀金才可观测，这大大增加了样品观测的成本，还破坏了样品的原有性质及形貌，一般只有在专业技术领域才使用。

授权公告号为CN104655626B(申请号为201510083566.X)的中国发明专利《一种显微镜下观察立体结构的装置》，其中公开了装置通过设置三个移动平台以及旋转单元，使用时，旋转待遇按带动待测样品进行360度旋转，进而全方位观测为结构的形貌及尺寸。该装置的构成部件多，搭建步骤较为繁琐。另外该装置独立于显微镜使用，很难同显微镜一体携带，很难作为产品进行量产，相应其使用普及性也较大。另外，该装置在使用时，旋转轴容易遮挡显微镜的光源，对微结构的放置位置要求较高。同时需要用胶带将样品固定在旋转轴上，另外，在转动过程中，当样品转至旋转轴下方时，则无法观测到样品背部的微结构，而将样品拆下再反向固定在旋转轴上则比较麻烦。同时如果拆卸时，胶带有残胶留在样品上，则必然会影响后续样品微观结构的观测，使得观测结果出现误差。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种能够更加充分利用显微镜本体结构，能够直接设置在显微镜本体上即能实现微结构的立体观测，并且能与显微镜本体一体化设置以更易实现量产、携带、操作的3D显微镜。

本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种3D显微镜，包括显微镜本体，所述显微镜本体包括观测组件、调焦组件、载物台以及能驱动所述载物台进行前后和左右移动的载物台调节组件；

其特征在于：还包括控制电路板以及用于带动载有微结构的载玻片进行转动运动的位置调节机构，所述位置调节机构设置在所述载物台上；

所述位置调节机构包括用于固定所述载玻片的支撑组件以及驱动所述支撑组件相对于载物台进行转动的驱动组件，所述驱动组件与所述控制电路板电连接；

所述观测组件与控制电路板电连接。

结构简单且工作过程稳定地，所述支撑组件包括第一支撑件和第二支撑件，所述第一支撑件的一端转动连接在载物台上，所述第二支撑件的一端转动连接在第一支撑件的另一端，所述驱动组件与所述第二支撑件的另一端驱动连接，所述驱动组件驱动第二支撑件的第二端前后移动，进而使得第一支撑件、第二支撑件相对载物台发生转动，所述第一支撑件或第二支撑件的上表面上设置有用于固定载玻片的固定件，所述第一支撑件和/或第二支撑件上对应于载玻片的固定区域设置有透光区。