[实用新型]一种抛动提升装置

说明书

本实用新型涉及一种抛动提升装置，它包括：抛动组件，所述抛动组件包括抛动电机、由所述抛动电机带动转动的偏心轮、由所述偏心轮带动而运动的支架机构以及与所述支架机构相连接以对所述支架机构的运动进行导向的滑动机构；所述支架机构上可放置工件；提升组件，所述提升组件包括动力机构，所述动力机构包括安装在所述支架机构上的丝杆导件、螺接于所述丝杆导件中的丝杆以及带动所述丝杆旋转的提升电机。通过提升电机的工作可以使丝杆在丝杆导件中旋转，进而丝杆导件带动支架机构上下移动，从而使放置在支架机构上的工件能够被提升或下降，而且可以通过调整丝杆转动的圈数来灵活调整工件被提升的高度。

技术领域

本实用新型涉及一种硅片清洗机中运输工件的装置，特别是涉及一种抛动提升装置。

背景技术

抛动提升装置常用在清洗机中，如用于半导体清洗机的机构中，抛动提升装置能够向清洗机中降入或提升工件，并且当工件位于清洗机中时，抛动提升装置中的抛动件还可以带动工件作上下抛动运动，使得工件更好地和药液接触使反应更加均匀。抛动提升装置主要由提升功能部分和抛动功能部分组成。

公告号为CN206981332U的专利文件公开了“一种高精度抛动提升装置”，它由提升功能部分和抛动功能部分组成，其中提升功能部分是采用气缸作为主要的提升器件。但是气缸提升具有缺点：气缸只能提升工件到固定位置，位置不能根据需要而调整，这一方面对于抓取工件的机械手的定位要求较高，另一方面如果需要人工来拿取工件，由于工件被提升的位置是固定的，因此会带来不方便。因此，需要对这种提升功能部分进行改进，以使工件提升的高度可以调整。

实用新型内容

本实用新型目的是要提供一种抛动提升装置，解决了如何能够根据需要灵活调整工件提升高度的问题。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

本实用新型提供了一种抛动提升装置，它包括：

抛动组件，所述抛动组件包括抛动电机、由所述抛动电机带动转动的偏心轮、由所述偏心轮带动而运动的支架机构以及与所述支架机构相连接以对所述支架机构的运动进行导向的滑动机构；所述支架机构上可放置工件；

提升组件，所述提升组件包括动力机构，所述动力机构包括安装在所述支架机构上的丝杆导件、螺接于所述丝杆导件中的丝杆以及带动所述丝杆旋转的提升电机。

优化地，所述提升组件还包括导向机构，所述导向机构包括安装在所述支架机构上的直线轴承以及套在所述直线轴承中的导向轴。

进一步地，所述直线轴承以及套于所述直线轴承中的导向轴有两套且分别设置在所述丝杆以及所述丝杆导件的两侧。

更进一步地，两套所述直线轴承以及套于所述直线轴承中的导向轴对称设置在所述丝杆以及所述丝杆导件的两侧。

优化地，所述滑动机构包括滑块、与所述滑块相滑动配合的滑轨以及固定所述滑轨的提升板。

优化地，所述支架机构包括搭置在所述偏心轮上方的抛动座以及与所述抛动座相连接用于放置工件的工件容器。

进一步地，所述滑动机构还包括设置在所述提升板上的限位固定块，所述限位固定块位于所述抛动座的下方以对所述抛动座限位。

进一步地，所述工件容器具有底板，所述底板上开设有多个通孔。

进一步地，所述工件容器具有底板，所述底板上设置有卡位块。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：