[实用新型]浮动电极增强介质阻挡放电弥散等离子体射流发生装置有效
| 申请号： | 201820135879.4 | 申请日： | 2018-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN208001395U | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 雷冰莹;李静;汤洁;王静;王屹山;张同意;赵卫;段忆翔 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 胡乐 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 浮动电极 高压电极 接地电极 等离子体射流 主体腔室 弥散 介质阻挡放电 发生装置 圆筒形 本实用新型 出气端口 固定设置 交流电源 紧密套接 进气端口 绝缘材料 开路状态 轴向距离 轴向位置 氩气 室内壁 轴心处 主体腔 加载 体腔 外壁 柱形 室内 | ||
1.浮动电极增强介质阻挡放电弥散等离子体射流发生装置，其特征在于：包括由绝缘材料制成的圆筒形的主体腔室，主体腔室的一端作为进气端口，另一端作为出气端口，出气端口的直径不大于10mm；主体腔室的外壁依次紧密套接有均为圆筒形的浮动电极、接地电极，其中接地电极靠近出气端口；在主体腔室的轴心处固定设置有柱形的高压电极，高压电极与主体腔室内壁的间距为0.5-4.5mm，高压电极从进气端口伸入主体腔室内且末端与浮动电极所在轴向位置相对应，高压电极、浮动电极与接地电极的轴向距离为10-20mm，通过在高压电极和接地电极两端加载交流电源、浮动电极保持开路状态，使得：高压电极、浮动电极以及两者之间充当绝缘介质层的腔壁形成介质阻挡放电的预放电单元，高压电极、接地电极以及两者之间充当绝缘介质层的腔壁形成介质阻挡放电构成主放电单元。
2.根据权利要求1所述的浮动电极增强介质阻挡放电弥散等离子体射流发生装置，其特征在于：高压电极、浮动电极与接地电极的轴向距离相等。
3.根据权利要求1所述的浮动电极增强介质阻挡放电弥散等离子体射流发生装置，其特征在于：所述交流电源的频率从工频至13.56MHz的射频范围内可调，电源模式为连续或脉冲形式；电压幅值为1000-9000伏。
4.根据权利要求1所述的浮动电极增强介质阻挡放电弥散等离子体射流发生装置，其特征在于：主放电功率不大于10W，工作气体流速为0.01-10L/min。
5.根据权利要求1所述的浮动电极增强介质阻挡放电弥散等离子体射流发生装置，其特征在于：所述主体腔室由玻璃、石英或陶瓷材料制成。
6.根据权利要求1所述的浮动电极增强介质阻挡放电弥散等离子体射流发生装置，其特征在于：所述高压电极、接地电极、浮动电极均为铜、铝、钨、镍、钽或铂制成的电极。
7.根据权利要求1所述的浮动电极增强介质阻挡放电弥散等离子体射流发生装置，其特征在于：所述高压电极为圆柱形，直径0.5-5mm，高压电极的放电顶端为圆弧形。
8.根据权利要求1所述的浮动电极增强介质阻挡放电弥散等离子体射流发生装置，其特征在于：所述接地电极和浮动电极均为薄片圆筒结构，厚度不大于1mm，轴向长度为5-15mm。
9.根据权利要求1所述的浮动电极增强介质阻挡放电弥散等离子体射流发生装置，其特征在于：所述接地电极距离出气端口3-8mm。
10.根据权利要求1所述的浮动电极增强介质阻挡放电弥散等离子体射流发生装置，其特征在于：所述高压电极通过设置于主体腔室内的环形塞实现与主体腔室的相对固定，高压电极从环形塞中心贯通，环形塞上对称设置有若干通气孔作为气流通道。
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