[发明专利]一种将激光光斑转化成均匀线列光斑的光学系统在审
申请号: | 201811399005.0 | 申请日: | 2018-11-22 |
公开(公告)号: | CN109343226A | 公开(公告)日: | 2019-02-15 |
发明(设计)人: | 林子棋;周云申 | 申请(专利权)人: | 常州英诺激光科技有限公司;江苏微纳激光应用技术研究院有限公司 |
主分类号: | G02B27/09 | 分类号: | G02B27/09;G02B5/04;G02B7/18;G02B19/00 |
代理公司: | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人: | 葛勤 |
地址: | 213000 江苏省常州市武进区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光斑 激光光斑 光学系统 棱镜 微柱面镜阵列 扩束透镜组 变倍系统 子光源 细化 放大 转化 变倍聚焦 长度可变 激光加工 加工效率 角度可调 扩束镜组 依次排列 激光器 焦距 光能量 微柱面 可变 聚焦 应用 | ||
1.一种将激光光斑转化成均匀线列光斑的光学系统,其特征在于:所述光学系统由依次排列的扩束透镜组、微柱面镜阵列棱镜及变倍系统构成;
所述扩束透镜组用于将激光器发出的激光光斑进行放大;
所述微柱面镜阵列棱镜用于将所述扩束镜组放大的激光光斑细化为子光源光斑;
所述变倍系统用于对所述微柱面镜阵列棱镜细化的子光源光斑进行聚焦,以使均匀线列光斑作用于工作面上。
2.如权利要求1所述的将激光光斑转化成均匀线列光斑的光学系统,其特征在于:所述扩束透镜组由依次排列的第一正透镜及第二正透镜构成;所述扩束透镜组用于将所述激光器发出的激光光斑放大5倍。
3.如权利要求2所述的将激光光斑转化成均匀线列光斑的光学系统,其特征在于:所述第一正透镜的入光面的曲面半径为7.53mm,出光面的曲面半径无穷大,厚度为1.57mm,入光面的外径为5.08mm,出光面的外径为5.08mm。
4.如权利要求2所述的将激光光斑转化成均匀线列光斑的光学系统,其特征在于:所述第二正透镜的入光面的曲面半径为无穷大,出光面的曲面半径为-33.465mm,厚度为3.53mm,入光面的外径为12mm,出光面的外径为12mm。
5.如权利要求1所述的将激光光斑转化成均匀线列光斑的光学系统,其特征在于:所述变倍系统由依次排列的负透镜及正透镜构成;所述负透镜与正透镜之间的间距在1-30mm之间可调。
6.如权利要求5所述的将激光光斑转化成均匀线列光斑的光学系统,其特征在于:所述负透镜的入光面的半径无穷大,出光面的半径-29.05mm,厚度为3mm,入光面的外径为20mm,出光面的外径为20mm,圆锥系数为-2。
7.如权利要求5所述的将激光光斑转化成均匀线列光斑的光学系统,其特征在于:所述正透镜的入光面的半径无穷大,出光面的半径41.39mm,厚度为3mm,入光面的外径为20mm,出光面的外径为20mm,圆锥系数为0。
8.如权利要求1所述的将激光光斑转化成均匀线列光斑的光学系统,其特征在于:所述微柱面镜阵列棱镜可沿着所述光学系统的光轴进行旋转,以使经过其的线列光斑随之旋转。
9.如权利要求8所述的将激光光斑转化成均匀线列光斑的光学系统,其特征在于:所述微柱面镜阵列棱镜集成了20个柱面镜,每个柱面镜的半径均为2.04mm。
10.如权利要求9所述的将激光光斑转化成均匀线列光斑的光学系统,其特征在于:所述微柱面镜阵列棱镜呈正方形,尺寸大小为20mm×20mm,厚度为1mm。
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