[发明专利]一种LED制作专用的晶圆滚磨加工设备在审
申请号: | 201810966036.3 | 申请日: | 2018-08-23 |
公开(公告)号: | CN109048658A | 公开(公告)日: | 2018-12-21 |
发明(设计)人: | 孙俊彪 | 申请(专利权)人: | 孙俊彪 |
主分类号: | B24B41/06 | 分类号: | B24B41/06;B24B21/02;B24B21/18;B24B55/08;B24B47/08 |
代理公司: | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人: | 朱海江 |
地址: | 200051 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 滚磨 硅晶棒 底板 转动板 加工设备 转动电机 专用的 晶圆 二次检测 辅助装置 固定工具 固定装置 人工调节 现有设备 执行装置 电机座 输出轴 对滚 制作 左端 回收 检测 保证 | ||
本发明涉及一种LED制作专用的晶圆滚磨加工设备,包括底板,底板上通过电机座安装有转动电机,转动电机的输出轴上安装有滚磨转动板,滚磨转动板的右端安装有滚磨执行装置,滚磨转动板中部安装有滚磨固定装置,底板的左端安装有滚磨辅助装置。本发明可以解决现有硅晶棒在滚磨加工过程中在的需要人工借助现有设备对硅晶棒进行滚磨处理,需要人工对硅晶棒进行检测,需要人工对硅晶棒进行固定,针对不同规格的硅晶棒需要人工调节固定工具,操作复杂,人工借助工具对硅晶棒进行滚磨不规律,无法保证硅晶棒滚磨的精确性,需要对滚磨后的硅晶棒进行二次检测,影响硅晶棒的使用效果,且硅晶棒滚磨掉的颗粒需要人工进行清理回收。
技术领域
本发明涉及LED封装设备领域,具体的说是一种LED制作专用的晶圆滚磨加工设备。
背景技术
晶圆是制作LED的主要材料,晶圆是由硅晶棒经过切段,滚磨,切片,倒角,抛光,激光刻,包装后,即成为积体电路工厂的基本原料——硅晶圆片,硅晶棒在滚磨工序的前后都需要人工对其规格尺寸进行测量检测,从而保证硅晶棒做成的晶圆符合标准,同时需要人工借助现有设备对硅晶棒进行滚磨处理,需要人工对硅晶棒进行固定,针对不同规格的硅晶棒需要人工调节固定工具,操作复杂,人工借助工具对硅晶棒进行滚磨不规律,无法保证硅晶棒滚磨的精确性,需要对滚磨后的硅晶棒进行二次检测,影响硅晶棒的使用效果,且硅晶棒滚磨掉的颗粒需要人工进行清理回收,劳动强度大与工作效率低。
发明内容
为了解决上述问题,本发明提供了一种LED制作专用的晶圆滚磨加工设备,可以解决现有硅晶棒在滚磨加工过程中在的需要人工借助现有设备对硅晶棒进行滚磨处理,需要人工对硅晶棒进行检测,需要人工对硅晶棒进行固定,针对不同规格的硅晶棒需要人工调节固定工具,操作复杂,人工借助工具对硅晶棒进行滚磨不规律,无法保证硅晶棒滚磨的精确性,需要对滚磨后的硅晶棒进行二次检测,影响硅晶棒的使用效果,且硅晶棒滚磨掉的颗粒需要人工进行清理回收,劳动强度大与工作效率低等难题,可以实现了硅晶棒自动化精确滚磨加工的功能,无需人工操作,能够保证硅晶棒滚磨的精确性,且具有操作简单、劳动强度小与工作效率高等优点。
为了实现上述目的,本发明采用以下技术方案来实现:一种LED制作专用的晶圆滚磨加工设备,包括底板,底板上通过电机座安装有转动电机,转动电机的输出轴上安装有滚磨转动板,滚磨转动板的右端安装有滚磨执行装置,滚磨转动板中部安装有滚磨固定装置,底板的左端安装有滚磨辅助装置,所述滚磨转动板的下端设置有滚磨转动杆,滚磨转动杆的下端通过滑动配合方式与滚磨滑槽相连,滚磨滑槽安装在底板上,通过现有设备将硅晶棒放置到滚磨固定装置上,滚磨固定装置可以对硅晶棒的下端进行固定,滚磨辅助装置对硅晶棒的上端进行抵紧,转动电机工作带动滚磨执行装置转动,滚磨执行装置在转动的过程中对硅晶棒的表面进行滚磨作业,无需人工操作,降低了工作人员的劳动强度,提高了工作的效率。
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