[发明专利]一种基于微细盘状电极在线制备的微阵列结构微细电解周铣加工方法

权利要求书

1.一种基于微细盘状电极在线制备的微阵列结构微细电解周铣加工方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：

步骤一、对盘状电极毛坯(11)在线进行微细电火花线切割加工，制备出微细盘状电极(20)；

步骤二、将制备完成的微细盘状电极(20)作为工具电极对待加工工件(19)在线进行微细电解周铣加工，从而在待加工工件(19)的表面上加工出微阵列结构。

2.根据权利要求1所述的一种基于微细盘状电极在线制备的微阵列结构微细电解周铣加工方法，其特征在于，步骤一中，对盘状电极毛坯(11)在线进行微细电火花线切割加工是在微细加工机床的微细电极丝(8)工位上实现；

步骤二中，将制备完成的微细盘状电极(20)作为工具电极对待加工工件(19)在线进行微细电解周铣加工是在微细加工机床的分度旋转装置(18)工位上实现。

3.根据权利要求2所述的一种基于微细盘状电极在线制备的微阵列结构微细电解周铣加工方法，其特征在于，微细加工机床包括工控机(1)、电火花加工短路检测系统(2)、高频脉冲电源(3)、高速主轴(4)、机床工作平台(5)、电火花工作液循环系统(6)、电火花工作液槽(7)、微细电极丝(8)、标准棒(9)、伺服控制系统(10)、电解工作液循环系统(12)、电解工作液槽(13)、电解加工短路检测系统(14)、电解电源(15)、Z轴伺服装置(16)、X/Y轴伺服装置(17)和分度旋转装置(18)；

高速主轴(4)、电火花工作液槽(7)和电解工作液槽(13)固定在机床工作平台(5)上；电火花工作液循环系统(6)用于将电火花工作液送至盘状电极毛坯(11)所在的加工区域，并通过电火花工作液槽(7)回收利用；工控机(1)通过伺服控制系统(10)控制X/Y轴伺服装置(17)运动，从而使机床工作平台(5)在X轴或Y轴方向运动；

工控机(1)还用于控制高速主轴(4)的输出转速，高速主轴(4)输出轴通过夹头与标准棒(9)的一端连接，标准棒(9)的另一端与盘状电极毛坯(11)或微细盘状电极(20)相装配；

高频脉冲电源(3)的正极通过高速主轴(4)的夹头连接盘状电极毛坯(11)；高频脉冲电源(3)的负极与微细电极丝(8)连接；微细电极丝(8)作为工具电极对盘状电极毛坯(11)在线进行微细电火花线切割加工；

电火花加工短路检测系统(2)，用于检测微细电极丝(8)和盘状电极毛坯(11)之间的接触电压，并将检测后的信号发送至工控机(1)；

待加工工件(19)通过分度旋转装置(18)固定在Z轴伺服装置(16)上，工控机(1)通过伺服控制系统(10)控制Z轴伺服装置(16)运动，从而使待加工工件(19)在Z轴方向运动；

工控机(1)还用于控制分度旋转装置(18)进行分度转动，从而实现复杂微阵列结构的加工；

电解加工短路检测系统(14)用于检测微细盘状电极(20)与待加工工件(19)之间的接触电压，并将检测后的信号发送至工控机(1)；

电解电源(15)的阴极通过高速主轴(4)的夹头连接在线制备的微细盘状电极(20)；电解电源(15)的阳极与待加工工件(19)连接；微细盘状电极(20)作为工具电极对待加工工件(19)在线进行微细电解周铣加工；

电解工作液循环系统(12)用于将电解工作液送至待加工工件(19)所在的加工区域，并通过电解液槽(13)回收利用。