[发明专利]一种工件清洗方法

权利要求书

1.一种工件清洗方法，其特征在于，包括：

将工作气体通入所述等离子体发生器内，并将等离子体发生器内的气体抽出，使所述等离子体发生器内的气压在预设范围内；

启动电源，使留在等离子体发生器内的工作气体放电，产生等离子体对所述待清洗的工件进行清洗；等离子体功率密度为0～100W/cm³；

预设时间后，向等离子体发生器内通入空气，使等离子体发生器内部恢复常压。

2.根据权利要求1所述的一种工件清洗方法，其特征在于，所述将工作气体通入所述等离子体发生器内，并将等离子体发生器内的气体抽出，使所述等离子体发生器内的气压在预设范围内，具体包括：

利用机械泵将所述等离子体发生器中的气体抽出，使所述等离子体发生器内的气体压强在预设范围内；

向所述等离子体发生器内通入工作气体，使所述等离子体发生器内的压强恢复到常压；

重复以上两个步骤三次，然后再次利用机械泵将所述等离子体发生器中的气体抽出，继续通入所述工作气体使所述等离子体发生器内的气体压强在预设范围内。

3.根据权利要求1所述的一种工件清洗方法，其特征在于，在所述预设时间后，向等离子体发生器内通入空气，使等离子体发生器内部恢复常压之后，还包括：

将清洗后的工件放入电镀工序进行电镀。

4.根据权利要求1或2所述的一种工件清洗方法，其特征在于，所述等离子体发生器为常压等离子体发生器、真空等离子体发生器、等离子体微弧发生装置和等离子体火炬中的一种。

5.根据权利要求1所述的一种工件清洗方法，其特征在于，所述电源为高频电源、射频电源、微波电源、脉冲电源和直流电源中的一种。

6.根据权利要求1所述的一种工件清洗方法，其特征在于，所述工作气体为空气、氩气、氮气、氢气、氧气、二氧化碳、水蒸气、甲胺中的一种或两种。

7.根据权利要求1所述的一种工件清洗方法，其特征在于，所述工件包括金属件、塑料、橡胶和陶瓷。