[发明专利]电极体及高压放电灯

说明书

本发明提供一种电极体(1)及使用了该电极体的高压放电灯，在由电极(2)以及插入于电极(2)的芯线插入孔(3)的芯线(4)组成的电极体(1)中，在将芯线(4)插入于电极(2)的芯线插入孔(3)时，能够进行顺畅的芯线插入操作，而消除芯线插入孔(3)的缺口、破裂的产生。其特征在于，在电极(2)的芯线插入孔(3)的内表面及/或芯线的插入区域的外周设置有低摩擦层(5)。

技术领域

本发明涉及用于高压放电灯的电极体及使用了该电极体的高压放电灯，特别地，涉及适用于半导体、液晶的制造领域等的曝光光源、放映机的投影用光源或用于分析的光源的高压放电灯用的电极体。

背景技术

高压放电灯由于对向配置于发光管内的一对电极的顶端距离短而接近于点光源，因此通过与光学系统组合而被利用为曝光装置用或放映机的投影用的光源。

这样的高压放电灯的一例公开于日本特开昭60-79659号公报(专利文献1)。

图9示出了该以往的高压放电灯，高压放电灯的发光管10具备位于中央的形成为大致球状的发光部11以及其两端的密封部12。在发光部11内，由钨等制成的阴极21和阳极31以彼此相对的方式对向配置，并且在其发光空间S中封入有水银、氙等发光物质。

连接设置于上述阴极21及阳极31的芯线22、32经由未图示的金属箔或经由使用热膨胀系数略有不同的材料将发光管与芯线之间连接的构造部而由密封部12、12密封。

在点亮时在两电极间电流流动，由于来自等离子体的辐射、电阻加热而电极温度变得极高。特别地，由于阳极变为温度高达2000度以上的高温，因此阳极由高温中的蒸气压较小的金属构成，而且为了抑制阳极的温度上升而需要使用热容量较大的材料，例如图9的(B)所示，使用整体由钨构成的电极。

这样的电极体30通过在电极31的后端钻设芯线插入孔33并将芯线32插入并固定于该芯线插入孔33而制作。因此，为了不产生芯线的脱落，电极的芯线插入孔的内径与芯线的外径的差被设计得极小。

因此，由于芯线及芯线插入孔的加工，特别是由于芯线插入孔的加工时的尺寸偏差、芯线插入操作时的芯线与芯线插入孔的中心位置的偏差等，芯线的插入较困难，或者无法进行规定长度的插入，另外当加强插入操作时的压入的强度时，会在芯线插入孔的端部过度地施加应力，产生缺口、破裂等不良影响。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭60－79659号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本发明所要解决的课题是鉴于上述以往技术的问题点，提供在由电极和插入于该电极的芯线插入孔的芯线构成的电极体及使用了该电极体的高压放电灯中，在将芯线插入于电极的芯线插入孔时，能够进行顺畅的芯线插入操作而消除芯线插入孔的缺口、破裂的产生的电极体及使用了该电极体的高压放电灯。

用于解决课题的技术方案

为了解决上述课题，本发明的电极体的特征在于，在所述电极的芯线插入孔的内表面及/或所述芯线的插入区域的外周设置有低摩擦层。

另外，其特征在于，所述低摩擦层为碳化层。

另外，其特征在于，所述低摩擦层为氮化层。

另外，其特征在于，所述低摩擦层的摩擦系数在通过球盘摩擦试验进行评价时为0.2～0.35。

另外，其特征在于，所述低摩擦层在所述电极的芯线插入孔的内表面及/或所述芯线的插入区域的外周设置于局部区域。

另外，其特征在于，所述低摩擦层设置于所述芯线的外周，设置于比该芯线的插入区域更大的范围。