[实用新型]蓝宝石单晶生长炉机架有效
申请号: | 201720783396.0 | 申请日: | 2017-06-30 |
公开(公告)号: | CN206986331U | 公开(公告)日: | 2018-02-09 |
发明(设计)人: | 吕立强;陈有生 | 申请(专利权)人: | 上海朗兆机电设备有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B35/00 |
代理公司: | 上海顺华专利代理有限责任公司31203 | 代理人: | 顾雯 |
地址: | 201415 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蓝宝石 生长 机架 | ||
技术领域
本实用新型涉及蓝宝石单晶生长炉的设备技术领域,特别是一种缩短设备安装调整时间、降低对安装人员技术水平的要求、降低劳动强度、提高生产效率的蓝宝石单晶生长炉机架。
背景技术
蓝宝石晶体具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性,强度高、硬度大、耐腐蚀,可在接近2000℃高温的恶劣条件下工作,因而得到广泛的应用。是半导体发光二极管(LED),大规模集成电路SOI和SOS及超导纳米结构薄膜等最为理想的衬底材料。机架是机器设备的基础部件,用于承载、固定设备的其他零部件,确定其相对位置,并具有整体位置调节、吊装、运输等功能。根据结构分为整体式机架和分体式机架。
分体式机架在安装相关零部件后,作为设备的一个组成部分,和设备的其他组成部分,如:电源柜、冷却循环系统等,根据使用要求和装配关系在安装场地确定相对位置后,再进行调整、固定位置,安装连接件。分体式机架设备组成部分尺寸小、重量轻,运输方便、可根据场地情况调整布局。分体式机架在安装场地安装时工作量相对较大,对安装人员的技术水平要求高,辅助设备占用率高,效率低。
蓝宝石单晶生长炉的机架水平精度要求高,同时机架上安装辅助设备的立柱与机架水平面的垂直度必须保证,使设备在安装维修时,难度大,不易调整,需要一种缩短设备安装调整时间、降低对安装人员技术水平的要求、降低劳动强度、提高生产效率的蓝宝石单晶生长炉机架。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种缩短设备安装调整时间、降低对安装人员技术水平的要求、降低劳动强度、提高生产效率的蓝宝石单晶生长炉机架。
蓝宝石单晶生长炉机架,包括:
底板,所述底板通过锁紧螺钉和第一调节螺钉固定在底架的下方,所述底架的上方侧面固定立柱,所述立柱通过第二调节螺钉固定在底架上;
所述底架的连接板上一端设有固定锁紧螺钉和第一调节螺钉的通孔,另一端与底架的底架支撑连接为一体,所述底架支撑的数量为三个以上,所述底架支撑的上方设置底架板,所述底架板的中部设置底架定位孔,侧面设有向外凸出的底架支板;
所述立柱的底部为支柱板,所述支柱板通过第二调节螺钉固定在底架支板上,所述支柱板上设有加强筋。
所述底架支撑的数量为四个。
所述底架支撑之间设有加强板。
所述底架板为长方形,所述底架定位孔位于底架板的中心。
所述底架支板与底架板共面。
所述立柱和支柱板分别为正方形,立柱位于支柱板的中心,所述第二调节螺钉的数量为八个,均匀分布在立柱的周围,第二调节螺钉之间设置加强筋。
所述第一调节螺钉设有调节螺钉和螺母,所述螺母贴近连接板。
所述连接板上设有两组调节螺钉和螺母,分别位于锁紧螺钉的两侧。
本实用新型底板通过锁紧螺钉和第一调节螺钉固定在底架的下方,底架的上方侧面固定立柱,立柱通过第二调节螺钉固定在底架上;底架的连接板上一端设有固定锁紧螺钉和第一调节螺钉的通孔,另一端与底架的底架支撑连接为一体,底架支撑的数量为三个以上,底架支撑的上方设置底架板,底架板的中部设置底架定位孔,侧面设有向外凸出的底架支板;立柱的底部为支柱板,支柱板通过第二调节螺钉固定在底架支板上,支柱板上设有加强筋。底架上经过机械加工的安装平面与立柱上平面装配后保持平行。同时,立柱上平面定位孔与上平面保持垂直。本实用新型缩短设备安装调整时间、降低对安装人员技术水平的要求、降低劳动强度、提高生产效率。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图中:1、底板,2、底架,3、立柱,4、锁紧螺钉,5、第一调节螺钉,6、第二调节螺钉,21、连接板,22、底架支撑,23、底架板,24、底架定位孔,25、底架支板,31、支柱板,32、加强筋。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例,对本实用新型做进一步说明。
实施例1:
蓝宝石单晶生长炉机架,包括:底板1,底板1通过锁紧螺钉4和第一调节螺钉5固定在底架2的下方,底架2的上方侧面固定立柱3,立柱3通过第二调节螺钉6固定在底架2上;底架2的连接板21上一端设有固定锁紧螺钉4和第一调节螺钉5的通孔,另一端与底架2的底架支撑22连接为一体,底架支撑22的数量为三个以上,底架支撑22的上方设置底架板23,底架板23的中部设置底架定位孔24,侧面设有向外凸出的底架支板25;立柱3的底部为支柱板31,支柱板31通过第二调节螺钉6固定在底架支板25上,支柱板31上设有加强筋32。
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