[发明专利]一种四头式激光蚀刻机

说明书

本发明所的四头式激光蚀刻机含多个激光蚀刻工位，大大地提高了生产效率高；而且，本发明激光蚀刻机的定位系统包括左右并列设置的两个CCD视觉系统，定位更为准确，节约加工工序和加工时间，提高了生产效率。本发明的四头式激光蚀刻机包括：机柜底座和位于机柜底座上方的工作平台，工作平台上设有定位系统和并列设置的四组光路系统；每组光路系统依次包括：激光发生器、扩束镜、振镜和场镜，激光发生器、扩束镜和振镜同轴；场镜位于振镜的下方，并与振镜同轴；场镜连接抽风组件，用于保持蚀刻工件表面的清洁度；定位系统与振镜和场镜的中心轴线平行，包括左右并列设置的两个CCD视觉系统。

技术领域

本发明属于激光蚀刻机技术领域，具体涉及一种四头式激光蚀刻机。

背景技术

目前，激光蚀刻技术广泛应用于液晶触摸屏银浆线路蚀刻、修复，ITO及各类金属导电膜线路激光蚀刻，PCB行业薄膜电路光刻掩膜板激光蚀刻成型，以及太阳能光伏硅基板薄膜电路蚀刻等多个技术领域。然而，目前市场上的激光蚀刻机大部分为单工位操作设备，生产效率低下，无法满足目前大规模生产的需要。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明的目的在于提供一种四头式激光蚀刻机，其具体技术方案如下：

一种四头式激光蚀刻机，包括：机柜底座和位于所述机柜底座上方的工作平台，其特征在于，所述工作平台上设有定位系统和并列设置的四组光路系统；所述每组光路系统依次包括：激光发生器、扩束镜、振镜和场镜，所述激光发生器、扩束镜和振镜同轴；所述场镜位于所述振镜的下方，并与所述振镜同轴；所述场镜连接抽风组件，用于保持蚀刻工件表面的清洁度；

所述定位系统与所述振镜和所述场镜的中心轴线平行，包括左右并列设置的两个CCD视觉系统。

优选的，所述激光发生器连接有光隔离器。

优选的，所述四头式激光蚀刻机还包括：光路外罩，所述光路系统设在光路外罩内，所述光路外罩包括光路底板，所述光路底板背离所述光路通道的一侧设有用于连接所述工作平台的第一安装板。

更优选的，所述光路系统通过固定架可拆卸安装在所述光路底板上。

更优选的，所述扩束器连接调整架，所述调整架上设有连接所述光路底板的固定部。

更优选的，所述CCD视觉系统通过第二安装板固定于所述光路底板上。

更优选的，所述CCD视觉系统包括CCD镜头和保护罩，所述CCD镜头设在保护罩内，所述CCD镜头通过CCD固定块固定于所述第二安装板上。

优选的，所述工作平台包括立柱和横板，所述光路系统和CCD视觉系统设在所述立柱的顶部，所述立柱的底部与所述横板垂直连接，所述横板连接部连接所述机柜底座。

优选的，所述四头式激光蚀刻机还包括：吸附平台，所述吸附平台位于所述CCD视觉系统的下方，所述抽风组件的出风口正对所述吸附平台。

更优选的，所述四头式激光蚀刻机还包括：运动平台，所述运动平台位于所述吸附平台的下方，并连接所述吸附平台。

相对于现有激光蚀刻机，本发明所提供的激光蚀刻机含多个激光蚀刻工位，大大地提高了生产效率高；而且，本发明激光蚀刻机的定位系统包括左右并列设置的两个CCD视觉系统，定位更为准确，节约加工工序和加工时间，提高了生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本发明优选实施例的四头式激光蚀刻机的主体结构示意图；