[发明专利]一种基于高低温冲击系统的智能气罩

说明书

本发明提出一种基于高低温冲击系统的智能气罩，包括耐高低温密封环，气体流量传感器，水平驱动机构，搅拌风扇，电机，固定支撑座，其中所述耐高低温密封环设置于所述固定支撑座底部，所述气体流量传感器和水平驱动机构设置于所述耐高低温密封环上，所述搅拌风扇通过电机设置于智能气罩内部。本发明提出的基于高低温冲击系统的智能气罩，能够减少高低温气流直接冲击测试样品，提高测试数据准确性，减少高低温气流外泄，降低测试噪声，减少因高低温气流外泄引发二次伤害，提高测试安全性。

技术领域

本发明涉及高低温冲击系统测试气罩自动控制装置，且特别涉及一种基于高低温冲击系统的智能气罩。

背景技术

目前半导体业界使用的高低温冲击系统采用高低温气流直接冲击测试样品，这样造成测试样品各部分温度分布不均匀，导致各部分受力不均匀，影响测试样品良率和测试数据的准确性。一些测试工程师给单孔喷头加装多孔喷头减少气流对测试样品直接冲击的影响。但并没有多大改善，测试样品各部分存在温度差，无法模拟测试样品工作环境。

目前高低温测试系统的气罩与测试板接触的密封性要通过测试工程师的反复的调节，费时费力。当遇到大规模样品测试时无法保证接触密封型，因密封不完善性导致高低温气流外泄引起噪声，高温气流(一百二十五度)烫伤测试员工。低温气流(零下四十度)液化产生水珠流入下方机台引起线路短路和漏电，进而危害测试员工和机台安全。

发明内容

本发明提出一种基于高低温冲击系统的智能气罩，解决以下问题：

(1)因高低温气流直接冲击测试样品，引发样品测试数据的不准确性。

(2)减少因高温气流外泄引发的烫伤，低温气体液化引发的机台漏电和短路事故。

(3)因高低温气流外泄，引发的测试噪声。

为了达到上述目的，本发明提出一种基于高低温冲击系统的智能气罩，包括耐高低温密封环，气体流量传感器，水平驱动机构，搅拌风扇，电机，固定支撑座，其中所述耐高低温密封环设置于所述固定支撑座底部，所述气体流量传感器和水平驱动机构设置于所述耐高低温密封环上，所述搅拌风扇通过电机设置于智能气罩内部。

进一步的，所述搅拌风扇将高低温冲击系统输入的高低温气流搅拌均匀。

进一步的，所述气体流量传感器和水平驱动机构的数量为多个，均匀并对称地设置于所述耐高低温密封环上。

进一步的，所述气体流量传感器和水平驱动机构一一对应，每个气体流量传感器和对应的水平驱动机构形成一组机构，设置于所述耐高低温密封环上。

进一步的，所述气体流量传感器和水平驱动机构的数量分别为6个，形成6组机构均匀对称地设置于所述耐高低温密封环上。

进一步的，当所述气体流量传感器检测到异常气流存在时，根据传感器输出信号，相对应位置的水平驱动机构工作推动气罩边缘的所述耐高低温密封环，增加气罩的密封性。

本发明提出的基于高低温冲击系统的智能气罩，能够减少高低温气流直接冲击测试样品，提高测试数据准确性，减少高低温气流外泄，降低测试噪声，减少因高低温气流外泄引发二次伤害，提高测试安全性。

附图说明

图1所示为本发明较佳实施例的基于高低温冲击系统的智能气罩结构示意图。

图2所示为本发明较佳实施例的智能气罩仰视结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图给出本发明的具体实施方式，但本发明不限于以下的实施方式。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用于方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。