[发明专利]钼及钼合金管材拉伸试样标距线的制作装置及制作方法

权利要求书

1.钼及钼合金管材拉伸试样标距线的制作装置，其特征在于，包括磁控溅射设备和镀层模具，所述磁控溅射设备内的镀膜仓中心设置有旋转转盘，所述镀层模具垂直设置于旋转转盘上，所述镀层模具包括圆筒状的管材内模(1)，所述管材内模(1)包括半圆筒状的第一上管壳(1-1)和第一下管壳(1-2)，所述第一上管壳(1-1)和第一下管壳(1-2)的外壁上沿长向开设有若干个等间距的内模标距孔(1-3)，所述镀层模具还包括圆筒状的管材外模(2)，所述管材外模(2)包括半圆筒状的第二上管壳(2-1)和第二下管壳(2-2)，所述第二上管壳(2-1)和第二下管壳(2-2)分别套接于第一上管壳(1-1)和第一下管壳(1-2)的外表面，所述第二上管壳(2-1)和第二下管壳(2-2)的外壁上沿长向开设有若干个等间距的外模标距孔(2-3)，每个所述内模标距孔(1-3)与外模标距孔(2-3)均为矩形结构，每个外模标距孔(2-3)沿长向的宽度不小于内模标距孔(1-3)沿长向的宽度，每个外模标距孔(2-3)沿周向的宽度大于内模标距孔(1-3)沿周向的宽度，且每个相邻的外模标距孔(2-3)的间距与每个相邻的内模标距孔(1-3)的间距相等，每个所述外模标距孔(2-3)与内模标距孔(1-3)相贯通；

所述第一上管壳(1-1)和第一下管壳(1-2)的外壁上沿长向设置有若干个内模标尺(1-5)，且每个所述内模标尺(1-5)沿内模标距孔(1-3)长向的边缘处设置。

2.如权利要求1所述的钼及钼合金管材拉伸试样标距线的制作装置，其特征在于，每个所述内模标距孔(1-3)沿长向的宽度为1mm～3mm，每个所述内模标距孔(1-3)沿周向的宽度不小于所述第一上管壳(1-1)或第一下管壳(1-2)沿周向的管壁两侧边缘距离的1/2。

3.如权利要求1所述的钼及钼合金管材拉伸试样标距线的制作装置，其特征在于，每个相邻外模标距孔(2-3)的间距与每个相邻内模标距孔(1-3)的间距均为20mm～25mm。

4.钼及钼合金管材拉伸试样标距线的制作方法，其特征在于，该方法使用如权利要求1所述的钼及钼合金管材拉伸试样标距线的制作装置进行制作，具体按照以下步骤实施：

步骤1、表面剖光：将钼及钼合金管材切割成180mm～220mm的钼及钼合金管材拉伸试样(6)，然后将钼及钼合金管材拉伸试样(6)水平安装在抛光轮的切线位置，使拉伸试样表面和抛光轮表面刚好接触，开启抛光设备，使抛光轮高速旋转，当抛光轮表面从钼及钼合金管材拉伸试样(6)的一端打磨至另一端时，完成钼及钼合金管材拉伸试样(6)的表面抛光处理；

步骤2，表面超声清洗：将步骤1中经表面剖光处理后的钼及钼合金管材拉伸试样(6)放置于超声波清洗机的清洗槽内，向清洗槽内添加清洗溶剂并预热，当清洗溶剂温度达到30℃～50℃时，开启超声波清洗机电源，将高频信号转换成机械振动，清洗一段时间后，将钼及钼合金管材拉伸试样(6)夹出并吹干，完成钼及钼合金管材拉伸试样(6)的表面超声清洗；

步骤3、将试样装入镀层模具：首先经步骤2表面超声清洗后的钼及钼合金管材拉伸试样(6)置于镀层模具的管材内模(1)的第一下管壳(1-2)内，再将第一上管壳(1-1)对称平扣于钼及钼合金管材拉伸试样(6)的裸露表面，再将管材外模(2)的第二上管壳(2-1)和第二下管壳(2-2)沿管材内模(1)的外表面水平推进，当外模标距孔(2-3)与内模标距孔(1-3)的长向的重合宽度达到所需镀层宽度时，将管材内模(1)与管材外模(2)进行固定；

步骤4、标距线制备，具体按照如下步骤实施：

步骤4.1、将步骤3中装有钼及钼合金管材拉伸试样(6)的镀层模具垂直安装于磁控溅射设备镀膜仓中心的旋转转盘上，同时将靶材均匀固定于镀膜仓的内表面，关闭镀膜仓门；

步骤4.2、对镀膜仓内抽真空，当镀膜仓内的真空度达到5×10^-3Pa时，向镀膜仓内通入高纯氩气，并加热镀膜仓内温度，当温度达到300℃～400℃时，开启磁控电源开关，使靶材中的金属原子通过镀层模具上的外模标距孔(2-3)与内模标距孔(1-3)沉积于钼及钼合金薄壁管材拉伸试样上，当钼及钼合金管材拉伸试样(6)上的涂层达到一定厚度时，关闭电源，取出并打开镀层模具，完成钼及钼合金管材拉伸试样(6)的标距线制作。