[发明专利]现场环境下平板平面度测量结果的不确定度确定方法

说明书

本发明涉及一种现场环境下平板平面度测量结果的不确定度确定方法，包含：确定不确定度来源，确定待测量平板尺寸，确定检测设备不确定度，确定平板检测时水平情况并计算其造成的不确定度，确定测量方法造成的不确定度，确定环境震动造成的不确定度，确定测量重复性不确定度，利用不确定度基本原理进行不确定度合成，获得在当前环境下进行平面度检测的不确定度结果。本发明的优点是解决了工作现场大尺寸、无法移动等难以提供良好检测环境的平板的平面度检测结果准确性评估的问题。使用本方法，可显著提升现场平板检测的工作效率，并能够检测一些原来无法检测的平板，且给出量化的结果的可靠性数据。

技术领域

本发明属于检测技术领域，涉及一种测量结果不确定度的确定方法，尤其涉及一种现场环境下平板平面度测量结果的不确定度确定方法，可用于存在震动、倾斜等干扰的现场条件下的平板平面度测量结果的不确定度确定。

背景技术

目前我国对于平板的检定规程中要求对平板的平面度检测结果评估其测量不确定度，并将不确定度的值作为测量结果的一部分报告给送检方。检定规程中提供了一种不确定度的确定方法，主要应用于实验室环境下的平板检测中，但在实际工作中，一部分大尺寸，或难以充分调平的平板，使用检定规程中的不确定度评估方法难以获得可靠的不确定度数据。

发明内容

为了解决背景技术中存在的上述技术问题，本发明提供了一种可以解决现场环境下的不确定度确定问题以及可提高测试结果可靠性的现场环境下平板平面度测量结果的不确定度确定方法。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种现场环境下平板平面度测量结果的不确定度确定方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：

1)确定现场环境下对平板平面度测量结果的总不确定度μ_C的来源；所述现场环境下对平板平面度测量结果的总不确定度μ_C包括现场环境下对待测平板平面度测量结果的B类不确定度分量μ_B以及现场环境下对待测平板平面度测量结果的A类不确定度分量μ_A是；所述现场环境下对待测平板平面度测量结果的B类不确定度分量μ_B包括环境震动引入的不确定度分量、水平情况引入的不确定度分量、测量设备引入的不确定度分量以及测量方法引入的不确定度分量；所述现场环境下对待测平板平面度测量结果的A类不确定度分量μ_A是测量重复性不确定度分量；

2)根据环境震动引入的不确定度分量、水平情况引入的不确定度分量、测量设备引入的不确定度分量以及测量方法引入的不确定度分量计算得到现场环境下对待测平板平面度测量结果的B类不确定度分量μ_B；根据测量重复性不确定度分量计算得到现场环境下对待测平板平面度测量结果的A类不确定度分量μ_A；

3)根据现场环境下对待测平板平面度测量结果的A类不确定度分量μ_A以及现场环境下对待测平板平面度测量结果的B类不确定度分量μ_B计算合成现场环境下对平板平面度测量结果的总不确定度μ_C。

上述步骤2)中B类不确定度分量的具体获取方式是：

其中：

μ_z是环境震动引入的不确定度分量；

μ_Sp是水平情况引入的不确定度分量；

μ_Sb是测量设备引入的不确定度分量；

μ_F是测量方法引入的不确定度分量；

μ_B是现场环境下对待测平板平面度测量结果的B类不确定度分量。