[发明专利]一种硫化锌红外光学窗口保护膜的膜系结构

说明书

本发明涉及一种硫化锌红外光学窗口保护膜的膜系结构，包括基片和高强度保护膜系；所述基片由硫化锌材料制成；所述高强度保护膜系由三种薄膜材料制备的膜层沉积而成；所述膜系依次包括：类金刚石膜层、硒化锌膜层和硫化锌膜层；所述类金刚石膜层有2‑5层，其厚度为20‑30nm；所述硒化锌膜层有1‑3层，其厚度为10‑20nm；所述硫化锌膜层有5‑8层，其厚度为30‑50nm；本发明通过高强度保护层技术，解决硫化锌窗口的软肋问题，提高了窗口抵抗雨蚀、吹尘等极端环境的能力，扩大硫化锌窗口在高速运动平台上的应用范围；采用多层粘接层技术，提高了保护层与基底结合的牢固度，使粘接层与保护层构成多层减反射膜系结构，有效降低了由于保护层引起的窗口表面的反射损失。

技术领域

本发明涉及光学薄膜技术领域，具体涉及一种硫化锌红外光学窗口保护膜的膜系结构。

背景技术

现有的红外光学窗口保护膜由于膜系最外层采用了SiO2材料，虽然在一定程度上提高了硫化锌基底的强度，但由于SiO2材料本身硬度的局限，保护膜不能具备承受高速砂尘冲击的能力，所以膜层并不适用于高速运动平台的光学窗口，因为高速运动平台的光电系统处于恶劣工作环境中，对膜层的牢固度、强度、环境适应性要求很高，申请人对上述膜层以及目前公开的普通膜层按照国军标进行试验，均无法满足要求。

发明内容

本发明提供如下技术方案：一种硫化锌红外光学窗口保护膜的膜系结构，包括：基片和高强度保护膜系；所述基片由硫化锌材料制成；所述高强度保护膜系由三种薄膜材料制备的膜层沉积而成；所述膜系依次包括：类金刚石膜层、硒化锌膜层和硫化锌膜层；所述类金刚石膜层有2-5层，其厚度为20-30nm；所述硒化锌膜层有1-3层，其厚度为10-20nm；所述硫化锌膜层有5-8层，其厚度为30-50nm。

进一步，包括基片和高强度保护膜系；所述基片由硫化锌材料制成；所述高强度保护膜系由三种薄膜材料制备的膜层沉积而成；所述膜系依次包括：类金刚石膜层、硒化锌膜层和硫化锌膜层；所述类金刚石膜层有2层，其厚度为20nm；所述硒化锌膜层有1层，其厚度为10nm；所述硫化锌膜层有5层，其厚度为30nm。

进一步，包括基片和高强度保护膜系；所述基片由硫化锌材料制成；所述高强度保护膜系由三种薄膜材料制备的膜层沉积而成；所述膜系依次包括：类金刚石膜层、硒化锌膜层和硫化锌膜层；所述类金刚石膜层有3层，其厚度为23nm；所述硒化锌膜层有2层，其厚度为15nm；所述硫化锌膜层有6层，其厚度为35nm。

进一步，包括基片和高强度保护膜系；所述基片由硫化锌材料制成；所述高强度保护膜系由三种薄膜材料制备的膜层沉积而成；所述膜系依次包括：类金刚石膜层、硒化锌膜层和硫化锌膜层；所述类金刚石膜层有5层，其厚度为30nm；所述硒化锌膜层有3层，其厚度为20nm；所述硫化锌膜层有8层，其厚度为50nm。

本发明的有益效果是：本发明通过高强度保护层技术，解决硫化锌窗口的软肋问题，提高了窗口抵抗雨蚀、吹尘等极端环境的能力，扩大硫化锌窗口在高速运动平台上的应用范围；采用多层粘接层技术，提高了保护层与基底结合的牢固度，使粘接层与保护层构成多层减反射膜系结构，有效降低了由于保护层引起的窗口表面的反射损失。

附图说明

图1为本发明实施例1的一种硫化锌红外光学窗口保护膜的膜系结构示意图；

图2为本发明实施例2的一种硫化锌红外光学窗口保护膜的膜系结构示意图；

图3为本发明实施例3的一种硫化锌红外光学窗口保护膜的膜系结构示意图。

其中，1、基片；2、硫化锌膜层；3、硒化锌膜层；4、类金刚石膜层。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细地描述：

实施例1：