[发明专利]一种一键式激活数据收集项目的方法

权利要求书

1.一种一键式激活数据收集项目的方法，其特征在于：包括

步骤S1：对集成电路制造过程和器件的制造过程中的工艺项目进行量测；

步骤S2：将量测后的修正的工艺规格数据输入工艺项目并更新完毕；

步骤S3：将维护后的工艺项目的信息更新到总控制台；

步骤S4：在与所有工艺项目相连的总控制台处选择维护后的工艺项目；

步骤S5：选定多个维护后的工艺项目后，点击冻结激活按键；

步骤S6：总控制台一次性向选定的多个维护后的工艺项目发出冻结激活指令；

步骤S7：选定的多个维护后的工艺项目收到冻结激活指令，执行冻结激活程序。

2.根据权利要求1所述的一键式激活数据收集项目的方法，其特征在于：所述步骤S4中的选定维护后的工艺项目的具体工艺流程为：

步骤S41：在操作面板上选择项目名称或数据维护人员菜单；

步骤S42：进入项目名称或数据维护人员菜单后点选维护后的工艺项目。

3.根据权利要求1所述的一键式激活数据收集项目的方法，其特征在于：步骤S3中所述维护后的工艺项目的信息包括工艺项目的具体运行时间、转速、温度、大气压数据。

4.根据权利要求1所述的一键式激活数据收集项目的方法，其特征在于：步骤S3中所述维护后的工艺项目的信息还包括具体的维护时间信息。

5.根据权利要求2所述的一键式激活数据收集项目的方法，其特征在于：步骤S42中所述数据维护人员菜单下的维护后的工艺项目以维护时间分类。

6.根据权利要求2所述的一键式激活数据收集项目的方法，其特征在于：所述步骤S42中所述项目名称菜单下的维护后的工艺项目以维护时间分类。

7.根据权利要求2所述的一键式激活数据收集项目的方法，其特征在于：所述步骤S42中所述项目名称菜单下的维护后的工艺项目以工艺种类进行分类。

8.根据权利要求2所述的一键式激活数据收集项目的方法，其特征在于：所述步骤S42中所述项目名称菜单下的维护后的工艺项目以首字母名称进行分类。