[发明专利]一种基于p‑6p/C8‑BTBT复合材料的OFET管及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201711157046.4 申请日: 2017-11-20
公开(公告)号: CN107871819A 公开(公告)日: 2018-04-03
发明(设计)人: 周建林;倪尧;余江鹏;周鑫;甘平 申请(专利权)人: 重庆大学
主分类号: H01L51/05 分类号: H01L51/05;H01L51/10
代理公司: 重庆大学专利中心50201 代理人: 唐开平
地址: 400044 重庆*** 国省代码: 重庆;85
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 c8 btbt 复合材料 ofet 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种基于p-6p/C8-BTBT复合材料的OFET管,包括栅极(1)、绝缘层(2)、有源层(3)、源极(4)和漏极(5),其特征是:有源层(3)为p-6p/C8-BTBT复合材料,在绝缘层(2)表面上覆盖p-6p层(31),在p-6p层(31)上结晶C8-BTBT层(32),形成为有序晶体状有机薄膜。

2.根据权利要求1所述的基于p-6p/C8-BTBT复合材料的OFET管,其特征是:所述的p-6p/C8-BTBT复合材料中p-6p厚度不大于1nm。

3.一种制备权利要求1所述OFET管的方法,其特征是,包括以下步骤:

步骤1、ITO基片的预处理:用镀有ITO的玻璃基片作为衬底,ITO作为栅极;将切割好的ITO基片分别置于清洗液、去离子水、氯仿、丙酮和异丙醇中各超声清洗,用氮气枪吹干基片后用紫外臭氧清洗,再将基片置于真空烘干箱中烘干,转而在热环境下干燥;

步骤2、在基片上旋涂绝缘层:用PMMA作为绝缘层;将PMMA溶于苯甲醚中,配置浓度为4~10wt%的PMMA溶液,将溶有PMMA的苯甲醚溶液旋涂在ITO基片上,在真空干燥箱内退火,然后取出用氮气枪吹干;

步骤3、蒸镀p-6p/C8-BTBT复合材料:以p-6p/C8-BTBT复合材料为有源层,将ITO基片置于真空蒸镀仪中,在真空压力不大于3×10-4Pa下,在ITO基片温度为室温的条件下,以小于0.2nm/秒的沉积速率蒸镀n型有机半导体p-6p,再以不大于0.2nm/秒的沉积速率蒸镀p型有机半导体C8-BTBT;

步骤4、源漏电极的制备:用金作为源漏电极,在真空压力不大于3×10-4Pa下,在基片温度为室温的条件下,以小于0.2nm/秒的速率蒸镀金作为电极,制得OFET管。

4.根据权利要求3所述OFET管的方法,其特征是,在步骤2中,所述退火温度为120℃。

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