[发明专利]一种基于p‑6p/C8‑BTBT复合材料的OFET管及其制备方法在审
申请号: | 201711157046.4 | 申请日: | 2017-11-20 |
公开(公告)号: | CN107871819A | 公开(公告)日: | 2018-04-03 |
发明(设计)人: | 周建林;倪尧;余江鹏;周鑫;甘平 | 申请(专利权)人: | 重庆大学 |
主分类号: | H01L51/05 | 分类号: | H01L51/05;H01L51/10 |
代理公司: | 重庆大学专利中心50201 | 代理人: | 唐开平 |
地址: | 400044 重庆*** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 c8 btbt 复合材料 ofet 及其 制备 方法 | ||
1.一种基于p-6p/C8-BTBT复合材料的OFET管,包括栅极(1)、绝缘层(2)、有源层(3)、源极(4)和漏极(5),其特征是:有源层(3)为p-6p/C8-BTBT复合材料,在绝缘层(2)表面上覆盖p-6p层(31),在p-6p层(31)上结晶C8-BTBT层(32),形成为有序晶体状有机薄膜。
2.根据权利要求1所述的基于p-6p/C8-BTBT复合材料的OFET管,其特征是:所述的p-6p/C8-BTBT复合材料中p-6p厚度不大于1nm。
3.一种制备权利要求1所述OFET管的方法,其特征是,包括以下步骤:
步骤1、ITO基片的预处理:用镀有ITO的玻璃基片作为衬底,ITO作为栅极;将切割好的ITO基片分别置于清洗液、去离子水、氯仿、丙酮和异丙醇中各超声清洗,用氮气枪吹干基片后用紫外臭氧清洗,再将基片置于真空烘干箱中烘干,转而在热环境下干燥;
步骤2、在基片上旋涂绝缘层:用PMMA作为绝缘层;将PMMA溶于苯甲醚中,配置浓度为4~10wt%的PMMA溶液,将溶有PMMA的苯甲醚溶液旋涂在ITO基片上,在真空干燥箱内退火,然后取出用氮气枪吹干;
步骤3、蒸镀p-6p/C8-BTBT复合材料:以p-6p/C8-BTBT复合材料为有源层,将ITO基片置于真空蒸镀仪中,在真空压力不大于3×10-4Pa下,在ITO基片温度为室温的条件下,以小于0.2nm/秒的沉积速率蒸镀n型有机半导体p-6p,再以不大于0.2nm/秒的沉积速率蒸镀p型有机半导体C8-BTBT;
步骤4、源漏电极的制备:用金作为源漏电极,在真空压力不大于3×10-4Pa下,在基片温度为室温的条件下,以小于0.2nm/秒的速率蒸镀金作为电极,制得OFET管。
4.根据权利要求3所述OFET管的方法,其特征是,在步骤2中,所述退火温度为120℃。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
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