[发明专利]一种量子电导特性可控的纳米点接触有效
| 申请号： | 201711064145.8 | 申请日： | 2017-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN107895757B | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 刘钢;薛武红;李润伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 量子 电导 特性 可控 纳米 点接触 | ||
1.一种量子电导特性可控的纳米点接触，由底电极/金属氧化物/顶电极构成三明治结构，其特征是：
底电极由具有储氧功能的导电材料构成；
顶电极由惰性导电材料构成；
金属氧化物位于底电极与顶电极之间，具有电阻转变性质，并且金属氧化物中存在缺氧的纳米区域；
工作状态时，底电极与顶电极之间施加正向电压，金属氧化物中的氧离子发生迁移并储存在底电极中，形成氧空位导电丝；然后，底电极与顶电极之间施加反向电压，储存在底电极中的氧离子返回氧空位导电丝，使氧空位导电丝尺寸变小形成纳米点接触；逐渐增大反向电压，纳米点接触的量子电导值以0.5G0为间隔连续减小。
2.如权利要求1所述的量子电导特性可控的纳米点接触，其特征是：所述的底电极材料是ITO、AZO、FTO、掺铌钛酸锶材料中的一种或者多种。
3.如权利要求1所述的量子电导特性可控的纳米点接触，其特征是：所述的顶电极材料是Pt、Au、W中的一种或者多种。
4.如权利要求1所述的量子电导特性可控的纳米点接触，其特征是：所述的金属氧化物是HfO2、Ta2O5、W2O3、ZrO2、ZnO、TiO2、SiO2、Al2O3、NiO中的一种或者多种。
5.如权利要求1所述的量子电导特性可控的纳米点接触，其特征是：所述的底电极为薄膜状态。
6.如权利要求1所述的量子电导特性可控的纳米点接触，其特征是：所述的顶电极为薄膜状态。
7.如权利要求1所述的量子电导特性可控的纳米点接触，其特征是：所述的金属氧化物为薄膜状态。
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