[发明专利]加热装置

权利要求书

1.一种加热装置，其具有：保持体，其呈具有与第1方向大致正交的第1表面和第2表面的板状，并且在内部具有多个电阻发热体，该多个电阻发热体与彼此不同的一对电极端子相连接；以及柱状支承体，其呈在所述第1方向上延伸的柱状，且与所述保持体的所述第2表面接合在一起，该加热装置用于对保持在所述保持体的所述第1表面上的对象物进行加热，

该加热装置的特征在于，

所述多个电阻发热体包含：

第1电阻发热体，其跨越第1区域和第2区域地配置，其中，该第1区域包含从所述第1方向观察时与所述柱状支承体重合的区域，该第2区域从所述第1方向观察时位于所述第1区域的外周侧并且包含不与所述柱状支承体重合的区域；以及

第2电阻发热体，其在所述第1方向上配置在比所述第1电阻发热体靠近所述第1表面的位置，且仅配置在所述第1区域。

2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，

所述多个电阻发热体还包含第3电阻发热体，该第3电阻发热体在所述第1方向上配置在与所述第1电阻发热体大致相同的位置，且从所述第1方向观察时仅配置在位于所述第2区域的外周侧的第3区域。

3.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，

所述多个电阻发热体还包含第3电阻发热体，该第3电阻发热体在所述第1方向上配置在与所述第2电阻发热体大致相同的位置，且从所述第1方向观察时仅配置在位于所述第2区域的外周侧的第3区域。