[发明专利]一种检测玻璃基板破损和裂纹的装置及方法在审
申请号: | 201710361701.1 | 申请日: | 2017-05-22 |
公开(公告)号: | CN107219233A | 公开(公告)日: | 2017-09-29 |
发明(设计)人: | 龚冰 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95 |
代理公司: | 北京聿宏知识产权代理有限公司11372 | 代理人: | 吴大建,何娇 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 检测 玻璃 破损 裂纹 装置 方法 | ||
技术领域
本发明是应用于液晶面板生产过程中的一种检测玻璃基板破损和裂纹的装置及方法。
背景技术
液晶面板在生产过程中,玻璃基板需要进行涂布、曝光、显影、烘烤等制程,由于经过的设备多,且生产流程长,容易造成玻璃基板边角破裂和裂纹,如果未及时发现,会流入后制程污染设备,造成设备损伤,并且不易查到造成破裂的真正原因。
发明内容
为了避免玻璃基板在生产过程中边角破裂和裂纹现象发生不易被发现造成破裂的现象发生,设置一种检测玻璃基板破损和裂纹的装置及方法,提高玻璃基板的制程良率。
一种检测玻璃基板破损和裂纹的装置,其特征在于,包括,光感应系统、玻璃基板加工单元以及控制所述光感应系统和玻璃基板加工单元的中央控制系统;
其中,所述光感应系统设置在玻璃基板加工单元入口处,玻璃基板进入玻璃基板加工单元时光感应系统得到感应,将感应信号反馈至中央控制系统。
所述的检测玻璃基板破损和裂纹的装置,其中,所述光感应系统包括光源发射器和光源接收器,所述光源发射器和光源接收器成对设置在玻璃基板加工单元入口处玻璃基板经过区域的上下两边,光源发射器发射的光穿过玻璃基板后被光源接收器接收。
所述的检测玻璃基板破损和裂纹的装置,其中,所述光源发射器和光源接收器设置在玻璃基板加工单元入口处位于玻璃基板待检测边的上下位置,所述玻璃基板待测边为平行于玻璃基板运动方向的两个边。
所述的检测玻璃基板破损和裂纹的装置,其中,所述光源发射器能够发出红外线,所述光源接收器能够检测红外线能量变化。
所述的检测玻璃基板破损和裂纹的装置,其中,所述玻璃基板由机械手臂运送至玻璃基板加工单元,所述光源发射器和光源接收器为多对,且避开所述机械手臂的正上下方位置设置。
所述的检测玻璃基板破损和裂纹的装置,其中,所述机械手臂包括三个支撑玻璃基板的支撑臂,所述支撑臂宽度不超过3cm。
所述的检测玻璃基板破损和裂纹的装置,其中,所述光源发射器发射的光的能量可调节。
一种检测玻璃基板破损和裂纹的方法,包括以下步骤:
步骤一、中央控制系统控制光源发射器发出光,光源接收器接收光并将原始光能量信息M1反馈至中央控制系统;
步骤二、玻璃基板进入玻璃基板加工单元并从光源发射器和光源接收器之间穿过,光源接收器将正常玻璃基板穿过过程中接收的光能信息M2反馈至中央控制系统;
步骤三、当玻璃基板边缘有裂纹时,光源发射器发射的光穿过有裂纹的地方,此时光源接收器接收的光能信息M3反馈至中央控制系统;
步骤四、中央控制系统对光能量信息M2和光能量信息M3进行处理。
所述的检测玻璃基板破损和裂纹的方法,其中,步骤四中,中央控制系统通过对比光能量信息M2和M3是否相等判断是否停止玻璃基板加工单元的运行。
所述的检测玻璃基板破损和裂纹的方法,其中,所述光能量信息M2和光能量信息M3相同,所述玻璃基板加工单元继续运行,所述光能量信息M2和光能量信息M3不同,中央控制系统控制玻璃基板加工单元停止运行。
本发明具有以下优点:在玻璃基板加工单元入口处设置光源发射器和光源接收器,通过检测发射器发出的光是否能量变化来判断玻璃基板被检测区域是否有裂纹或破损,并停止玻璃基板加工单元运行,有效排除了裂纹破碎的玻璃基板,提高产品的制程良率。
在平行于玻璃基板运动方向的两个边上下位置设置光源发射器和光源接收器,一能够全面排除裂纹破碎的玻璃基板。
设置多对光源发射器和光源接收器不仅可以在裂纹破碎发生率高的玻璃基板边缘处检测玻璃基板是否存在瑕疵,也可以在玻璃基板中央位置检测是否存在裂纹破碎现象的发生,全面排除裂纹破碎基板。
附图说明
在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中:
图1是本发明检测玻璃基板破损和裂纹的装置主视图;
图2是本发明检测玻璃基板破损和裂纹的装置俯视图。
在附图中,相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明作进一步说明。
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