[发明专利]微纳米空心金刚石钻头及其制作方法

权利要求书

1.微纳米空心金刚石钻头，其特征在于：所述微纳米空心金刚石钻头为薄壁圆管状，外表面设有螺纹槽，后端固定有与外部装置连接的连接头，前端为分布有锯齿的刃部，所述微纳米空心金刚石钻头的作为刃部的前端封闭，所述锯齿分布于所述微纳米空心金刚石钻头的封闭的前端的端面上，在所述封闭端的端面上开有用于让腐蚀液体渗入腐蚀内部衬底材料的渗入孔。

2.权利要求1所述的微纳米空心金刚石钻头的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：将可用作CVD金刚石衬底的衬底材料加工成钻头坯胎，钻头坯胎与所述微纳米空心金刚石钻头的结构相同；

步骤二：利用纳米金刚石粉体或者纳米金刚石乳液对钻头坯胎进行研磨；

步骤三：利用化学气相沉积技术对钻头坯胎进行处理，使得钻头坯胎表面均匀沉积金刚石膜；

步骤四：对表面沉积有金刚石膜的钻头坯胎的刃部进行开刃处理，并使得刃部的衬底材料露出；

步骤五：利用可腐蚀衬底材料的腐蚀液体对钻头坯胎上的衬底材料进行腐蚀，最后得到微纳米空心金刚石钻头。

3.根据权利要求2所述的微纳米空心金刚石钻头的制作方法，其特征在于：所述钻头坯胎的直径大小为100～500000nm，所述的衬底材料为硅、钼或石英玻璃中的一种。

4.根据权利要求3所述的微纳米空心金刚石钻头的制作方法，其特征在于：所述步骤一中的加工指机械加工或者激光雕刻。

5.根据权利要求4所述的微纳米空心金刚石钻头的制作方法，其特征在于：所述步骤二中的研磨方式为超声波研磨、机械研磨或手工研磨。

6.根据权利要求5所述的微纳米空心金刚石钻头的制作方法，其特征在于：所述步骤三中沉积的金刚石膜的厚度为300～300000nm。

7.根据权利要求6所述的微纳米空心金刚石钻头的制作方法，其特征在于：所述步骤三中的化学气相沉积技术为热丝化学气相沉积、电弧化学气相沉积或微波等离子体化学气相沉积。

8.根据权利要求7所述的微纳米空心金刚石钻头的制作方法，其特征在于：

所述步骤四中的开刃处理的方式为激光开刃或机械与化学反应结合开刃。