[发明专利]测试设备及其给电治具

说明书

本发明实施例提供了一种给电治具，用于对半导体激光器未电隔离裸BAR测试时注入大电流，给电治具包括探针夹具和多个弹性探针，探针夹具夹持固定多个弹性探针，多个弹性探针的针尖一端处于同一平面。本发明实施例还涉及一种测试设备。本发明实施例的给电治具的弹性探针针尖处于同一平面，通过测试设备，与未电隔离裸BAR接触良好，有利于未电隔离裸BAR测试。

技术领域

本发明涉及半导体激光器芯片测试技术领域，特别是涉及一种测试设备及其给电治具。

背景技术

随着半导体激光器(LD,Laser Diode)应用领域如LD泵浦固体激光器(DPL，Diode-Pumped Solid-State Laser)、各类光纤激光器的泵源、激光切割、焊接、医疗以及激光军事应用等的日益拓宽，对半导体激光器输出功率、可靠性的要求也越来越大。半导体激光器芯片是半导体激光器核心部分，具有半导体激光器“CPU”之称。

Full bar是一种未电隔离的大功率半导体激光器芯片，对未电隔离的大功率半导体激光器裸BAR的性能参数(如LIV特性、光谱特性等)进行测试和表征是深刻理解激光器芯片特性、优化芯片结构设计及完善芯片生产工艺的关键，同时也是判断激光器芯片好坏的重要依据。因此对未电隔离的大功率半导体激光器芯片进行无损测试不论对于科研单位、生产厂商、使用客户都具有极为重要的意义。

对未电隔离的大功率半导体激光器裸BAR进行无损测试，需保证在测试给电时给电治具与裸BAR以一定压力的可靠接触，且给电治具需稳定、均匀注入较大的电流，因此对裸BAR测试时所需的给电治具提出了较高的要求。

请参阅图1，图1是现有技术中给电治具的原理示意图。现有的未电隔离的大功率半导体激光器裸BAR10测试常采用弹片金属薄片20作为给电治具，主要存在的缺陷是：它虽能以一定的弹性与裸BAR10可靠接触，但给电治具与裸BAR10难以整体贴合接触，较难保证电流在裸BAR10上均匀注入。

发明内容

本发明提供一种给电治具，能够解决现有技术中给电治具与裸BAR难以贴合接触的技术问题。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种给电治具，用于对半导体激光器未电隔离裸BAR测试时注入大电流，给电治具包括探针夹具和多个弹性探针，探针夹具夹持固定多个弹性探针，多个弹性探针的针尖一端处于同一平面。

其中，探针夹具包括探针座和探针固定件，探针座设有容置空间，多个弹性探针设于容置空间内，探针固定件用于固定多个弹性探针。

其中，探针座包括探针座本体和从探针座本体一侧延伸的凸耳，容置空间形成于探针座本体的中部，凸耳用于预固定给电电源输出电线。

其中，探针座本体的中部形成有第一凹槽，第一凹槽贯穿探针座本体的宽度方向设置，第一凹槽内设有容置块，容置空间形成于容置块，容置空间为第二凹槽。

其中，容置块顶面低于探针座本体的顶面，容置块的宽度小于探针座本体的宽度，第一凹槽内临近容置块的空间用于放置焊料。

其中，探针固定件包括固定板和从固定板底面延伸的凸台，凸台与第一凹槽配合连接以固定多个弹性探针，探针座与固定板通过螺钉固定连接。

其中，多个弹性探针呈多行重叠设置。

其中，多个弹性探针呈两行设置，每行具有25个弹性探针，每个弹性探针的外径为0.35mm，探针座和探针固定件均采用紫铜加工而成并进行镀镍表面处理。