[发明专利]一种钙钛矿柔性光探测器及其制备方法

权利要求书

1.一种钙钛矿柔性光探测器制备方法，其特征在于，包括如下步骤，

步骤1，制备钙钛矿溶液；

将有机-无机卤素钙钛矿前驱体加入有机溶剂中，浓度在0.5 M到1.2M之间；将混合均匀后的溶液置于60 ºC下搅拌2小时，然后冷却至室温并搅拌四小时以上；以0.45 μm孔径的聚四氟乙烯过滤膜过滤得到钙钛矿溶液备用；

其中，所述有机-无机卤素钙钛矿分别为MAPbI₃或MAPbBr₃；其对应的前驱体分别为MAI和PbI₂，以及 MABr和PbBr₂；对应的前驱体的摩尔配比为MAI:PbI₂=1:（0.5-1.5），MABr:PbBr₂=1:（0.5-1.5）；所述的有机溶剂分别为二甲基甲酰胺、二甲基亚砜或γ-丁内酯；

步骤2，在清洗干燥后的柔性基片上通过刮刀法制备钙钛矿薄膜，所述滴加的钙钛矿溶液的体积与钙钛矿薄膜面积关系为3~5μL/cm²，得到钙钛矿柔性薄膜；所述的柔性基片为柔性PET薄膜；

首先，将清洗干燥后的柔性基片固定在热台的工作平面上，并在80-140 ºC温度下预热5分钟；根据不同的钙钛矿溶液，所述热台温度分别为当采用二甲基甲酰胺溶液时的80-120ºC，当采用二甲基亚砜溶液时的110-140 ºC ，当采用γ-丁内酯溶液时的120-150 ºC；

其次，固定刮刀并调节刮刀与水平基片夹角为30-60°，刮刀和柔性基片之间狭缝距离为50到200 μm，调节刮刀和柔性基片之间狭缝距离保持固定；通过滴加钙钛矿溶液填充柔性基片和刮刀之间的狭缝；

最后，在低于80%湿度的空气或者氮气环境下，控制热台温度在80-140℃，以10-50 mm/min的速度单向水平移动刮刀，拖动钙钛矿溶液在柔性基片上成膜，得到纤维晶具有单晶性质的钙钛矿取向单晶纤维柔性薄膜，即所述的钙钛矿柔性薄膜；

步骤3，将制备得到的钙钛矿柔性薄膜放置在80 ºC到150ºC热台上热退火8-10分钟；

步骤4，在退火后的钙钛矿柔性薄膜上蒸镀金电极，得到钙钛矿柔性光探测器。

2.一种钙钛矿柔性光探测器，其特征在于，由权利要求1所述的制备方法制备得到。