[发明专利]平台式喷洒装置

说明书

一种平台式喷洒装置，包括一装置本体、一喷洒组及一平移驱动机构。装置本体内部形成有腔室。喷洒组设置于装置本体的腔室内，喷洒组包含多个喷洒管，每一喷洒管的底部间隔的设有多个喷嘴，该些喷嘴固定朝向下方。平移驱动机构设置于装置本体上，平移驱动机构连接于喷洒组，平移驱动机构能用以驱动喷洒组平移往复运动。由此，流体对于基板的冲击力量固定，喷洒的力量较为均匀。

技术领域

本发明涉及一种平台式喷洒装置，尤其涉及一种可通过喷嘴对基板的整个表面上均匀供给流体的喷洒装置。

背景技术

液晶显示面板使用具有多层结构的功能性薄膜的基板，该基板通过薄膜蒸镀工艺、照相平版印刷工艺以及蚀刻及剥离工艺而制造。在各工艺中，蚀刻及剥离工艺为直接将具有预定图案的功能性薄膜真正形成在基板上的工艺，该工艺采用向基板喷射蚀刻液或剥离液等流体的方式。例如台湾专利证书号第I387488号所披露的“流体喷射装置”，包括：具有作业空间的作业槽；用于喷射流体的喷嘴；相隔配置在该作业空间的多个喷射管；与该喷射管相连接且通过连杆运动而使该喷嘴的喷射角度发生变化的动力传递机构；以及为使该动力传递机构进行连杆运动而产生动力的驱动源。

上述的流体喷射装置提供通过喷嘴摆动动作对基板的整个表面上均匀供给流体，其为喷管不动而喷嘴左右张角往复喷洒方式，喷嘴摇摆至两侧与中央时，流体对于基板的冲击力量大小不一，使得喷洒的力量较不均匀，导致蚀刻或剥离程度较不稳定。

综上所述，本发明人察觉上述缺陷可以改善，于是潜心研究并配合学理的应用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本发明。

发明内容

本发明所要解决的技术问题，在于提供一种平台式喷洒装置，流体对于基板的冲击力量固定，喷洒的力量较为均匀。

为了解决上述的技术问题，本发明提供一种平台式喷洒装置，包括：一装置本体，其内部形成有腔室；一喷洒组，其设置于该装置本体的腔室内，该喷洒组包含多个喷洒管，每一喷洒管的底部间隔地设有多个喷嘴，该些喷嘴固定朝向下方；以及一平移驱动机构，其设置于该装置本体上，该平移驱动机构连接于该喷洒组，该平移驱动机构能用以驱动该喷洒组平移往复运动。

优选的，该平移驱动机构能驱动该喷洒组沿着该些喷洒管的纵长方向往复运动。

优选的，该平移驱动机构包含一马达、一传动盘、一摆动杆及一连动杆，该传动盘连接于该马达，该摆动杆的一端连接于该传动盘的偏心位置，该摆动杆的另一端连接于该连动杆，该连动杆连接于该喷洒组。

优选的，该传动盘的偏心位置设有多个连接点，该些连接点至该传动盘的中心点的距离不相等，该摆动杆的一端连接于该些连接点的其中之一。

本发明的有益效果：

本发明的喷洒组设有多个喷洒管，每一喷洒管的底部设有多个喷嘴，且驱动机构能用于驱动喷洒组平移往复运动，使得由该些喷嘴喷洒出的流体全面性的喷洒至基板上。本发明的该些喷嘴固定朝向下方，因此流体对于基板的冲击力量固定，使得喷洒的力量较为均匀。

再者，本发明平移驱动机构可包含马达、传动盘、摆动杆及连动杆，传动盘的偏心位置设有多个连接点，该些连接点至传动盘的中心点的距离不相等，摆动杆的一端连接于该些连接点的其中之一，使得传动盘的偏心距离可以调整，喷洒组的平移滑动行程可以调整。

为使能更进一步了解本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制者。

附图说明

图1为本发明平台式喷洒装置的立体图。

图2为本发明平台式喷洒装置局部构造的立体图。

图3为本发明平台式喷洒装置局部构造的平面图。