[发明专利]低温等离子发生装置及其制作方法及反应器

权利要求书

1.一种低温等离子发生装置，其特征在于：

包括发生单元；

所述发生单元包括第一电极、第二电极和介质板；

所述第一电极和所述第二电极均固定连接在所述介质板的同一面上，所述第一电极和所述第二电极与外部高压电源电连接，用以在所述第一电极和所述第二电极之间产生高电压，使所述介质板的背对所述第一电极和所述第二电极的一侧产生低温等离子；

所述第一电极和所述第二电极之间存在间隙，在所述间隙中设置有绝缘部件，用以将所述第一电极和所述第二电极绝缘。

2.根据权利要求1所述的低温等离子发生装置，其特征在于：

所述第一电极的包括至少两个平行设置的第一梳齿，所述第二电极的包括至少两个平行设置的第二梳齿，至少两个所述第一梳齿和至少两个所述第二梳齿相互交错设置。

3.根据权利要求2所述的低温等离子发生装置，其特征在于：

相邻的所述第一梳齿和所述第二梳齿之间的间隙宽度处处相等。

4.根据权利要求3所述的低温等离子发生装置，其特征在于：

所述第一梳齿和所述第二梳齿的形状为矩形并且宽度均为1至5mm，相邻的所述第一梳齿和所述第二梳齿之间的距离为0.5至3mm。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的低温等离子发生装置，其特征在于：

所述发生单元的数量为两个，两个所述发生单元的电极形状互为镜像设置，使两个所述发生单元上的所述第一电极和所述第二电极分别相对。

6.根据权利要求5所述的低温等离子发生装置，其特征在于：

在两个所述发声单元之间设置有复合绝缘层，用以将一个所述发生单元上的所述第一电极和所述第二电极分别与所述另一个所述发生单元上的所述第二电极和所述第一电极之间绝缘，并将两个所述发生单元固定连接在一起。

7.一种低温等离子发生装置的制作方法，用于制作如权利要求1至6任意一项所述的低温等离子发生装置，其特征在于：

包括：

步骤A、在介质板的一面敷设金属层；

步骤B、通过金属蚀刻的方式将所述金属层制作成相互之间存在间隙的第一电极和第二电极；

步骤C、在所述间隙内敷设绝缘部件。

8.根据权利要求7所述的低温等离子发生装置的制作方法，所述低温等离子发生装置包括两个所述发生单元，两个所述发生单元的电极形状互为镜像设置，使两个所述发生单元上的所述第一电极和所述第二电极分别相对，其特征在于：

还包括：

步骤D、在两个所述发生单元之间设置复合绝缘层。

9.一种反应器，其特征在于：

包括如权利要求1至6任意一项所述的低温等离子发生装置。

10.根据权利要求9所述的反应器，其特征在于：

还包括边框；

所述低温等离子发生装置的数量为至少两个，并均固定连接在所述边框上。