[发明专利]用于确定流体的特性的设备

权利要求书

1.一种用于确定流体的特性的设备，所述设备包括：

装置，其被配置成确定流体的流体动压力；

传感器，其被配置成确定流体的流体静压力或流体的至少一个组分；

公共基板，所述传感器和被配置成确定流体的流体动压力的所述装置被布置在所述公共基板上；以及

第一ASIC（专用集成电路），其与所述传感器和用以确定流体的流体动压力的所述装置中的至少一个电耦合，其中，所述ASIC被至少部分地嵌入在所述公共基板中。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述第一ASIC被完全嵌入在所述公共基板中。

3.根据权利要求1所述的设备，其中，被配置成确定流体的流体动压力的所述装置是机械装置、电气装置或机电装置中的至少一个。

4.根据权利要求1所述的设备，其中，被配置成确定流体的流体动压力的所述装置是麦克风。

5.根据权利要求1所述的设备，其中，所述传感器是压力传感器。

6.根据权利要求1所述的设备，其中，所述传感器被配置成响应于流体的压力变化而产生电信号，其中，所述设备还包括被配置成衰减来自所述传感器的电信号的低通滤波器或带通滤波器，所述电信号响应于压力变化而被产生，其具有超过20 Hz的频率或具有超过10Hz的频率。

7.根据权利要求1所述的设备，其中，所述传感器是气体传感器，所述气体传感器被配置成确定流体的所述至少一个组分的浓度或者确定流体的组成和类型中的至少一个。

8.根据权利要求1所述的设备，其中，所述传感器和被配置成确定流体的流体动压力的所述装置中的至少一个是MEMS（微机电系统）。

9.根据权利要求1所述的设备，其中，所述第一ASIC与所述传感器并且与被配置成确定流体的流体动压力的所述装置电耦合。

10.根据权利要求1所述的设备，还包括第二ASIC，其被至少部分地嵌入在所述公共基板中，其中，被配置成确定流体的流体动压力的所述装置与所述第一ASIC电耦合，并且所述传感器与所述第二ASIC电耦合。

11.根据权利要求1所述的设备，还包括覆盖物，其被与所述公共基板机械耦合，并且其围绕所述传感器和被配置成确定流体的流体动压力的所述装置。

12.根据权利要求11所述的设备，其中，所述覆盖物通过接合工具与所述公共基板机械接合，所述接合工具包括焊料、导电粘合剂或不导电粘合剂中的至少一个。

13.根据权利要求11所述的设备，还包括在所述覆盖物和所述公共基板中的至少一个中提供的流体端口，所述流体端口提供用于确定流体的特性的所述设备的内部与外部之间的流体连接。

14.根据权利要求13所述的设备，其中，被配置成确定流体的流体动压力的所述装置是麦克风，并且其中，所述流体端口被布置在所述麦克风附近使得通过所述流体端口行进的声波被引导到所述麦克风的膜上。

15.一种用于确定流体的特性的装置，所述装置包括：

传感器，其被布置在基板上；以及

ASIC，其被与所述传感器电耦合并且被至少部分地嵌入在所述基板中，其中所述传感器被配置成确定流体的流体静压力或流体的至少一个组分。

16.根据权利要求15所述的装置，其中，所述传感器被配置成响应于流体的压力变化而产生电信号，其中，所述装置还包括被配置成衰减电信号的低通滤波器或带通滤波器，所述电信号响应于压力变化而被产生，其具有超过20 Hz的频率或超过10 Hz的频率。