[发明专利]一种多晶铸锭坩埚及其制作方法

权利要求书

1.一种多晶铸锭坩埚，其特征在于，包括矩形的坩埚本体(10)，所述坩埚本体(10)的内壁设有复合涂层(11)，所述坩埚本体(10)套装在石墨壳体(20)内，所述复合涂层(11)厚度范围为0.2～2.5mm。

2.根据权利要求1所述多晶铸锭坩埚，其特征在于，所述复合涂层(11)的厚度为0.2、0.4、0.8、1.0、1.5、1.8、2.0、2.2、2.4或2.5mm。

3.根据权利要求1所述多晶铸锭坩埚，其特征在于，所述石墨壳体(20)的内壁中设有若干个相互连通U型的第一腔道(23)，所述石墨壳体(20)的侧壁设有与第一腔道(23)连通的若干个圆环形的第二腔道(22)，所述石墨壳体(20)的底壁设有与第一腔道(23)底部连通一字型的第三腔道(26)和第四通道(27)，所述第四通道(27)相邻成对设置，其中任意一个所述第一腔道(23)设有封闭的开口(21)，所述开口(21)设置在石墨壳体(20)侧壁的顶部，所述开口(21)上设有密封堵塞。

4.根据权利要求1所述多晶铸锭坩埚，其特征在于，所述坩埚本体(10)的侧壁(12)上的复合涂层(11)内设有固定部(15)。

5.根据权利要求4所述多晶铸锭坩埚，其特征在于，所述固定部(15)的横截面为燕尾形状。

6.根据权利要求4所述多晶铸锭坩埚，其特征在于，所述固定部(15)为环绕坩埚本体(10)侧壁上的燕尾结构。

7.根据权利要求5所述多晶铸锭坩埚，其特征在于，所述固定部(15)为侧壁(12)设置的若干个点状的梯形结构。

8.根据权利要求1-7任一所述多晶铸锭坩埚的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括以下步骤：

步骤1、先对坩埚生坯本体进行烘干，本实施例的坩埚生坯本体为矩形结构，烘干温度范围为450℃～550℃，烘干时间在60～90分钟，再对坩埚生坯内表面进行烘干，烘干温度范围为500℃～550℃，烘干时间在30～60分钟，根据坩埚生坯本体的壁厚度和直径的大小，选择烘干的温度为400℃、450℃，500℃、550℃；

步骤2、对纯石英用钡进行表面处理，其中对钡进行表面处理步骤包括将石英砂浸泡在浓度为10～300g/L的氢氧化钡溶液中，浸泡5～100分钟；

步骤3、将步骤2用钡处理过的纯石英，通过电弧喷涂、等离子喷涂或火焰喷涂的高温喷涂方式将步骤1中得到的坩埚本体内表面复合一层涂层，复合涂层厚度在0.2～2.5mm得到复合涂层的坩埚本体；其中复合涂层中的加入粘结剂，粘结剂选用石英砂。

步骤4、对步骤3中得到的复合涂层的坩埚本体进行高温烧结，高温烧结的温度为1050～1200℃，保温时间为100～500分钟，得到多晶铸锭坩埚。

9.根据权利要求8所述多晶铸锭坩埚的制作方法，其特征在于，所述其中对钡进行表面处理步骤包括将石英砂浸泡在浓度为50、120、180、240、或260g/L的氢氧化钡溶液中，浸泡时间为20、25、30、60、65、70、80或85分钟。

10.根据权利要求9所述多晶铸锭坩埚的制作方法，其特征在于，其中所述步骤2还包括在取出浸泡后的石英砂在温度40～120℃的条件下，真空干燥时间为80～240分钟。