[发明专利]一种气体动态稀释配气系统及其方法

权利要求书

1.一种气体动态稀释配气方法，其特征在于，包括步骤：

根据第一预设流量值控制用于连通载气钢瓶与混合容器的第一通道的气体流量；

测量所述第一管道的流量测量值，并根据所述第一预设流量值与所述第一管道的流量测量值计算第一校准值；

根据所述第一校准值修正所述第一预设流量值使所述第一管道的实际流量值达到所述第一预设流量值；

根据第二预设流量值控制用于连通组气钢瓶与混合容器的第二通道的气体流量；

测量所述第二管道的流量测量值，并根据所述第二预设流量值与所述第二管道的流量测量值计算第二校准值；

根据所述第二校准值修正所述第二预设流量值使所述第二管道的实际流量值达到所述第二预设流量值。

2.根据权利要求1所述气体动态稀释配气方法，其特征在于，所述测量所述第二管道的流量测量值之前，还包括：

对位于与所述第二管道相连通的清洗管道上的清洗截止阀执行多次开关操作，直至流动路径通过体积至少为其容积10倍的气体。

3.根据权利要求1所述气体动态稀释配气方法，其特征在于：

所述根据所述第一校准值修正所述第一预设流量值使所述第一管道的实际流量值达到所述第一预设流量值之前，使所述第一管道内的气体不流入所述混合容器或从所述混合容器排除；

根据所述第二校准值修正所述第二预设流量值使所述第二管道的实际流量值达到所述第二预设流量值之前，使所述第二管道内的气体不流入所述混合容器或从所述混合容器排除。

4.根据权利要求1所述气体动态稀释配气方法，其特征在于，所述根据所述第一校准值修正所述第一预设流量值使所述第一管道的实际流量值达到所述第一预设流量值之后，还包括：

计算从所述第一管道开始通气的时间点到所述第一预设流量值根据所述校准值修正的时间点的时间段，记作第一校准时间；

在所述第一管道的通气时间到达第一预设值后，使所述第一预设流量值为修正后的第一预设流量值与修正前的第一预设流量值的差值，并使所述第一管道继续通气的时间达到所述第一校准时间。

5.根据权利要求1所述气体动态稀释配气方法，其特征在于，所述根据所述第二校准值修正所述第二预设流量值使所述第二管道的实际流量值达到所述第二预设流量值之后，还包括：

计算从所述第二管道开始通气的时间点到所述第二预设流量值根据所述校准值修正的时间点的时间段，记作第二校准时间；

在所述第二管道的通气时间到达第二预设值后，使所述第二预设流量值为修正后的第二预设流量值与修正前的第二预设流量值的差值，并使所述第二管道继续通气的时间达到所述第二校准时间。

6.一种气体动态稀释配气系统，其特征在于，包括：

第一管道，用于连通载气钢瓶与混合容器；

第一流量控制器，设置在所述第一管道上，用于根据第一预设流量值控制所述第一管道的气体流量；

第一流量测量计，设置在所述第一管道上，用于测量所述第一管道的流量测量值；

第一校准模块，与所述第一流量控制器及所述第一流量测量计相连，用于根据所述第一预设流量值与所述第一管道的流量测量值计算第一校准值，并将所述第一校准值发送至所述第一流量控制器，以供所述第一流量控制器修正所述第一预设流量值使所述第一管道的实际流量值达到所述第一预设流量值；

第二管道，用于连通组气钢瓶与所述混合容器；

第二流量控制器，设置在所述第二管道上，用于根据第二预设流量值控制所述第二管道的气体流量；

第二流量测量计，设置在所述第二管道上，用于测量所述第二管道的流量测量值；

第二校准模块，与所述第二流量控制器及所述第二流量测量计相连，用于根据所述第二预设流量值与所述第二管道的流量测量值计算第二校准值，并将所述第二校准值发送至所述第二流量控制器，以供所述第二流量控制器修正所述第二预设流量值使所述第二管道的实际流量值达到所述第二预设流量值。