[发明专利]玻璃基板传送设备

权利要求书

1.玻璃基板传送设备，其特征在于，所述玻璃基板传送设备包括：

气浮平台(100、200、300)，用于平面支撑玻璃基板；

换向装置(400)，设置在所述气浮平台的中心区域，用于带动玻璃基板原处旋转；以及

驱动装置(500)，沿所述气浮平台的高度方向可升降地设置在所述气浮平台内；

其中，所述驱动装置设置成能够在升高时仅与玻璃基板的中心区域接触且能沿不同的路径传送玻璃基板。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板传送设备，其特征在于，所述气浮平台包括中间气浮平台(200)，所述中间气浮平台(200)上形成有用于设置所述换向装置的中心孔(203)。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板传送设备，其特征在于，所述中间气浮平台(200)上形成有与所述中心孔(203)连通且沿第一传送路径(X)延伸的用于设置驱动装置的第二直槽(201)。

4.根据权利要求3所述的玻璃基板传送设备，其特征在于，所述气浮平台还包括组装在所述中间气浮平台(200)相对侧的第一气浮平台(100)和第二气浮平台(300)；所述第一气浮平台(100)和第二气浮平台(300)上分别形成有沿第一传送路径(X)延伸且能与所述第二直槽(201)对齐的第一直槽(101)和第三直槽(301)。

5.根据权利要求3所述的玻璃基板传送设备，其特征在于，所述中间气浮平台(200)上还形成有与所述中心孔(203)连通的沿第二传送路径(Y)延伸的第四直槽(202)。

6.根据权利要求5所述的玻璃基板传送设备，其特征在于，所述第一传送路径(X)与所述第二传送路径(Y)相互垂直。

7.根据权利要求5所述的玻璃基板传送设备，其特征在于，所述中间气浮平台(200)的靠近所述中心孔(203)处的所述第二直槽(201)和所述第四直槽(202)上分别形成有与所述中间气浮平台(200)共面的第一梁(201’)和第二梁(202’)。

8.根据权利要求3-7中任意一项权利要求所述的玻璃基板传送设备，其特征在于，所述驱动装置(500)为多套且分别成对地设置在所述第一直槽(101)、第二直槽(201)、第三直槽(301)以及第四直槽(202)内。

9.根据权利要求8所述的玻璃基板传送设备，其特征在于，所述驱动装置(500)包括：动力源和设置在所述动力源上的移动机构，所述移动机构用于吸附并带动所述玻璃基板移动，所述动力源为所述移动机构提供动力。

10.根据权利要求9所述的玻璃基板传送设备，其特征在于，所述动力源为直线致动器(501)；

所述移动机构包括升降气缸(502)和固定连接在所述升降气缸(502)顶部的真空吸盘(503)。

11.根据权利要求8-10中任意一项权利要求所述的玻璃基板传送设备，其特征在于，所述驱动装置(500)包括：用于接应玻璃基板到所述换向装置的第一驱动单元(500a)和用于将所述玻璃基板送走的第二驱动单元(500b)；所述第一驱动单元(500a)和所述第二驱动单元(500b)在所述第一直槽(101)、第二直槽(201)、第三直槽(301)以及第四直槽(202)内分别前后布置且形成有速度相同的重叠区。

12.根据权利要求1所述的玻璃基板传送设备，其特征在于，所述换向装置(400)包括驱动电机(401)、设置在所述驱动电机(401)上方的升降装置(402)以及固定连接在所述升降装置(402)顶部的圆盘状的旋转吸附器(403)。

13.根据权利要求12所述的玻璃基板传送设备，其特征在于，所述驱动电机(401)为直驱电机。

14.根据权利要求1所述的玻璃基板传送设备，其特征在于，所述气浮平台的与玻璃基板相对应的表面由多孔导电材料制成。

15.根据权利要求14所述的玻璃基板传送设备，其特征在于，所述多孔导电材料为碳石墨。