[实用新型]一种高能效石墨舟

说明书

技术领域

本实用新型涉及到一种石墨舟，具体涉及到一种高能效石墨舟领域。

背景技术

现有的石墨舟承载硅片后在管式PECVD内做沉积反应，由于原有石墨舟高频辉光电极是由炉尾（以管式PECVD为参照物）传导至炉口，从而会出现高频电场效应炉尾至炉口依次减弱，引起沉积速率不一致，导致色差；其次由于辉光会产生热能，高频电场强产生的热能就多，导致炉尾温度和炉口温度偏差大，从而改变硅片表面钝化的效果，产生的结构不一致，改变了硅片的结构的统一性。

为了解决以上技术问题，有必要将现有技术进行改良，设计一种高能效石墨舟，该高能效石墨舟的其中一层的最中心处的一片石墨舟片采用陶瓷片进行绝缘处理，使得该层的能量通过此石墨舟片从电极端传导到舟体另一端，能量按从内向外的传导顺序分别传导给此层舟体的其它石墨片，然后此层其它石墨舟片将能量从另外一端传导至电极端，而另外一个舟体的能量则直接从电极端传导到另一端，舟体两极能量通过这样的传导方式，以便舟体上能量均匀传导，从而使炉管内的沉积速率相近。由于加了绝缘陶瓷片，改变电场，使电场在整个石墨舟内均匀分布，降低硅片的色差率，提高了硅片表面氮化硅层结构的统一性。

发明内容

为了克服背景技术中存在的缺陷，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种高能效石墨舟，包括石墨舟舟片、陶瓷环、陶瓷棒、石墨棒、石墨螺帽和石墨块，所述石墨舟舟片按一定的间距均匀排列，每两片石墨舟舟片之间设置有一个陶瓷环，所述石墨舟舟片上均开有用于固定的安装孔，所述陶瓷棒穿入安装孔将石墨舟舟片和陶瓷环连接成一个整体，在两块相邻的石墨舟舟片和两根相邻的陶瓷环之间构成了物料存放空间，所述陶瓷棒的两端用石墨螺帽拧紧固定，所述石墨舟舟片的两端与其相邻的石墨舟舟片间设置有石墨块，所述石墨棒穿入石墨舟舟片和石墨块将石墨舟舟片两端连接，所述石墨棒的两端用石墨螺帽固定，所述石墨舟舟片其中一端最中心处的石墨舟舟片的一侧上部设置有上石墨电极块，所述石墨舟舟片其中一端最中心处的设置有上石墨电极块的石墨舟舟片的下部设置有下石墨电极块，所述石墨舟舟片其中一端最中心处设置有上石墨电极块和下石墨电极块的石墨舟舟片的另一侧设置有陶瓷片，所述陶瓷片设置在上石墨电极块和中心处的石墨舟舟片的两侧。

所述陶瓷片能够设置在下石墨电极块和中心处的石墨舟舟片的两侧。

优选上石墨电极块和下石墨电极块的个数分别为2个。

优选两片陶瓷片之间的石墨舟舟片的个数为2个以上。

本实用新型所涉及的一种高能效石墨舟，该高能效石墨舟的其中一层的最中心处的一片石墨舟片采用陶瓷片进行绝缘处理，使得该层的能量通过此石墨舟片从电极端传导到舟体另一端，能量按从内向外的传导顺序分别传导给此层舟体的其它石墨片，然后此层其它石墨舟片将能量从另外一端传导至电极端，而另外一个舟体的能量则直接从电极端传导到另一端，舟体两极能量通过这样的传导方式，以便舟体上能量均匀传导，从而使炉管内的沉积速率相近。由于加了绝缘陶瓷片，改变电场，使电场在整个石墨舟内均匀分布，降低硅片的色差率，提高了硅片表面氮化硅层结构的统一性。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型一种高能效石墨舟的结构示意图；

图2是本实用新型一种高能效石墨舟的一端的结构示意图；

其中:1、石墨舟舟片；2、陶瓷环；3、陶瓷棒；4、石墨棒；5、石墨螺帽；6、石墨块；7、陶瓷片；8、上石墨电极块；9、下石墨电极块；10、安装孔。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。附图为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。